[發明專利]一種功率半導體器件的功率循環測試系統及方法

有效

• 申請號: 202010462516.3
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN111537860B
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 王浩然;王圣明;周法杰;王鼎奕
• 申請（專利權）人: 合肥恒鈞檢測技術有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京知聯天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11594
• 代理人: 張陸軍;張迎新

1.一種功率半導體器件的功率循環測試系統，其特征在于，

所述測試系統包括電源模塊、驅動模塊、測試模塊，

所述測試模塊，用于安裝一個或多個所述功率半導體器件；

所述電源模塊，用于提供所述功率半導體器件的電壓電流；

所述驅動模塊，用于控制所述功率半導體器件進行通斷；

所述測試模塊包括至少一組第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；

所述電源模塊正極與第一端口連接，所述電源模塊的負極與第二端口連接；

所述第三端口與相應的第四端口之間用于接入被測試的功率半導體器件；

所述第一端口與第三端口連通，所述第二端口與第四端口連通；

所述電源模塊包括N條電流源支路和N條電壓源支路；其中，N≥2；

所述N條電流源支路共用一個電流源，用于提供測試過程中的電流。

2.根據權利要求1所述的測試系統，其特征在于，

每條電壓源支路分別包括一個電壓源，用于提供測試過程中的電壓；

所述測試模塊包括N條測試支路，每條測試支路分別包括所述第一端口和第二端口；

每條測試支路分別包括所述第三端口和第四端口；

N條所述電流源支路中的第i條電流源支路的正極與第i條測試支路的第一端口連接，N條所述電流源支路中的第i條電流源支路的負極與第i條測試支路的第二端口連接；

N條所述電壓源支路中的第i條電壓源支路的正極與第i條測試支路的第一端口連接，N條所述電壓源支路中的第i條電壓源支路的負極與第i條測試支路的第二端口連接；

其中，N≥i≥2。

3.根據權利要求1所述的測試系統，其特征在于，

所述電源模塊包括N條電流源支路和N條電壓源支路；

所述N條電流源支路中每條電流源支路共用一個電流源，用于提供測試過程中的電流；

所述N條電壓源支路中每條電壓源支路共用一個電壓源，用于提供測試過程中的電壓；

所述測試模塊包括N條測試支路，每條測試支路分別包括所述第一端口和第二端口；每條測試支路分別包括所述第三端口和第四端口；

所述N條電流源支路中的第i條電流源支路的正極與第i條測試支路的第一端口連接，所述N條電流源支路中的第i條電流源支路的負極與第i條測試支路的第二端口連接；

所述N條電壓源支路中的第i條電壓源支路的正極與第i條測試支路的第一端口連接，所述N條電壓源支路中的第i條電壓源支路的負極與第i條測試支路的第二端口連接；

其中，N≥i≥2。

4.根據權利要求2所述的測試系統，其特征在于，

所述電源模塊包括第一電壓源支路、第二電壓源支路、第一電流源支路、第二電流源支路；所述第一電壓源支路包括第一電壓源，第二電壓源支路包括第二電壓源，第二電流源支路和第一電流源支路均連接于同一電流源；

所述測試模塊包括第一測試支路和第二測試支路；

所述第一電壓源支路的正極與第一測試支路的第一端口連接，所述第一電壓源支路的負極與第一測試支路的第二端口連接；

所述第二電壓源支路的正極與第二測試支路的第一端口連接，所述第二電壓源支路的負極與第二測試支路的第二端口連接；

所述第一電流源支路的正極與第一測試支路的第一端口連接，所述電流源支路的負極與第一測試支路的第二端口連接；

所述第二電流源支路的正極與第二測試支路的第一端口連接，所述第二電流源支路的負極與第二測試支路的第二端口連接；

所述第一電流源支路包括第一開關部件，所述第一開關部件用于控制所述第一測試支路與所述第一電流源支路之間的通斷；

所述第二電流源支路包括第二開關部件，所述第二開關部件用于控制所述第二測試支路與所述第二電流源支路之間的通斷。

5.根據權利要求4所述的測試系統，其特征在于，所述測試系統包括開關控制部件，所述開關控制部件用于控制所述第一開關部件和第二開關部件同步通斷。