[發明專利]一種長蝕刻壽命的銅蝕刻液

在審

• 申請號: 202010462197.6
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN111647888A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 李少平;鐘昌東;郝曉斌;賀兆波;張演哲;張庭;蔡步林;萬楊陽;王書萍;馮凱;尹印;李鑫;景繼磊
• 申請（專利權）人: 湖北興福電子材料有限公司
• 主分類號: C23F1/18
• 分類號: C23F1/18
• 代理公司: 宜昌市三峽專利事務所 42103
• 代理人: 成鋼

1.一種長蝕刻壽命的銅蝕刻液，其特征在于：所述的銅蝕刻液由雙氧水、有機酸、次氧化劑、螯合劑、pH調節劑和去離子水組成，銅蝕刻液中雙氧水的質量分數為1-20%；有機酸的質量分數為1-10%；次氧化劑的質量分數為0.1-5%；螯合劑的質量分數為0.01-10%；pH調節劑的質量分數為0.1-10%；余量為去離子水。

2.根據權利要求1所述的長蝕刻壽命的銅蝕刻液，其特征在于：所述有機酸包括檸檬酸、酒石酸、乙醇酸、蘋果酸、葡萄糖酸、草酸、醋酸、乳酸、山梨酸中的一種或幾種。

3.根據權利要求1所述的長蝕刻壽命的銅蝕刻液，其特征在于：所述次氧化劑包括過氧化鈉、過氧化鉀、硝酸、硫酸、硝酸鈉、鉬酸鈉、高碘酸、過硫酸鈉中的一種或幾種。

4.根據權利要求1所述的長蝕刻壽命的銅蝕刻液，其特征在于：所述銅離子螯合劑由40-95%含羰基的有機酸鹽和5-60%聯吡啶組成，含羰基的有機酸鹽包括丙酮酸鈉、丙二酸鈉、甲酸鈉、甲酸銨、乳酸鈉、琥珀酸鈉中的一種或幾種。

5.根據權利要求1所述的長蝕刻壽命的銅蝕刻液，其特征在于：所述pH調節劑包括咪唑、碳酸鈉、碳酸氫鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀中的一種或幾種。