[發明專利]一種激光光束穩定系統在審
| 申請號： | 202010462025.9 | 申請日： | 2020-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN113741026A | 公開（公告）日： | 2021-12-03 |
| 發明（設計）人： | 李濤;李國強 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 青島華慧澤專利代理事務所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 劉娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 光束 穩定 系統 | ||
1.一種激光光束穩定系統，其特征在于，包括：
位置敏感元件，設置于激光發射器的光束前方，用于檢測光斑位置，并將位置信息傳輸給控制器；
偏轉鏡，設置于激光發射器和位置敏感元件之間，用于接收控制器的角度控制信息，進行偏轉，從而調節激光光束的方向；
控制器，用于接收位置敏感元件的位置信息，并進行計算，將得到的偏轉角度輸送給偏轉片，控制偏轉片進行轉動，來調整光束指向角度。
2.根據權利要求1所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，所述偏轉鏡為圓形，直徑為1英寸，對1000-1100nm之間的光波段具有99％以上的反射率，對于其他波段的光波長具有90％以上的透過率。
3.根據權利要求1所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，所述位置敏感元件對1000-1100nm之間的光波段具有70％以上的靈敏度，對其他波段的光波長具有10％以下的靈敏度。
4.根據權利要求1所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，所述偏轉鏡設置兩個，分別位于光束的兩側。
5.根據權利要求4所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，每個偏轉鏡通過四個壓電陶瓷進行驅動，四個壓電陶瓷分布在偏轉鏡的周圍，通過壓電陶瓷，偏轉鏡能夠在二個維度的方向上自由調節。
6.根據權利要求1所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，所述位置敏感元件具有兩個以上。
7.根據權利要求1-6任一所述的一種激光光束穩定系統，其特征在于，所述偏轉鏡的精度為500nrad，所述位置敏感元件的精度為1um。
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