[發明專利]光刻膠組合物及其制備方法

在審

• 申請號: 202010460924.5
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN111505902A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 胡凡華;盧克軍;樸大然;張騰;何卿
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京北旭電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種光刻膠組合物，其特征在于，包括：酚醛樹脂組合物、感光化合物和有機溶劑；

所述酚醛樹脂組合物包括：第一線性酚醛樹脂、第二線性酚醛樹脂和第三線性酚醛樹脂；其中，

所述第一線性酚醛樹脂的結構通式為式(1)：

所述第二線性酚醛樹脂的結構通式為式(2)：

以及

所述第三線性酚醛樹脂的結構通式為式(3)：

其中，n₁，n₂和n₃均為正整數，且n₁的數值在15～60的范圍內，n₂的數值在20～200的范圍內；n₃的數值在20～400的范圍內。

2.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述第一線性酚醛樹脂的質量占所述酚醛樹脂組合物總質量的10％～50％；

所述第二線性酚醛樹脂的質量占所述酚醛樹脂組合物總質量的10％～50％；以及

所述第三線性酚醛樹脂的質量占所述酚醛樹脂組合物總質量的10％～50％。

3.根據權利要求2所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述第一線性酚醛樹脂與所述第二線性酚醛樹脂的質量比為(1～2)：2；和/或，

所述第一線性酚醛樹脂與所述第三線性酚醛樹脂的質量比為(1～2)：2。

4.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述感光化合物的結構通式為式(4)：

其中，R₁，R₂、R₃和R₄中，至少三個中的任一個的結構式為式(5)或式(6)，其余為氫原子；

5.根據權利要求4所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述R₁、R₂、R₃和R₄中至少三個的結構式均為式(5)，其余為氫原子。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述光刻膠組合物還包括添加劑；

所述酚醛樹脂組合物的質量占所述光刻膠組合物總質量的10％～20％；

所述感光化合物的質量占所述光刻膠組合物總質量的1％～10％；

所述有機溶劑的質量占所述光刻膠組合物總質量的70％～85％；

所述添加劑的質量占所述光刻膠組合物總質量的1.5％～10.5％。

7.根據權利要求6所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述添加劑包括增感劑、流平劑和附著力促進劑中的至少一種。

8.根據權利要求7所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述添加劑包括增感劑、流平劑和附著力促進劑；其中，

所述增感劑的質量占所述添加劑總質量的20％～70％；

所述流平劑的質量占所述添加劑總質量的1％～10％；

所述附著力促進劑的質量占所述添加劑總質量的20％～35％。

9.根據權利要求7所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述添加劑的種類選自以下至少一種：

所述添加劑中的所述增感劑的結構式為式(7)：

所述添加劑中的所述流平劑包括有機硅類流平劑和含氟表面活性劑中的至少一種；以及，

所述添加劑中的所述附著力促進劑包括密胺樹脂、硅烷偶聯劑以及超高分子乙烯基醚類化合物中的至少一種。

10.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于，所述有機溶劑包括：丙二醇甲醚乙酸酯、乙二醇單甲醚，丙二醇單甲醚，二乙二醇單甲醚，二乙二醇二甲醚、乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸正丁和N-甲基吡咯烷酮中的至少一種。

11.一種光刻膠組合物的制備方法，其特征在于，包括：

將酚醛樹脂組合物、感光化合物和有機溶劑混合，得到光刻膠組合物；其中，

所述酚醛樹脂組合物包括：第一線性酚醛樹脂、第二線性酚醛樹脂和第三線性酚醛樹脂；

所述第一線性酚醛樹脂的結構通式為式(1)：

所述第二線性酚醛樹脂的結構通式為式(2)：

所述第三線性酚醛樹脂的結構通式為(式3)：

其中，n₁，n₂和n₃均為正整數，且n₁的數值在15～60的范圍內，n₂的數值在20～200的范圍內；n₃的數值在20～400的范圍內。