[發明專利]沉積設備及沉積方法、沉積設備中溫度檢測點的確定方法

在審

• 申請號: 202010455965.5
• 申請日: 2020-05-26
• 公開（公告）號: CN111485284A
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 霍麗艷;滕龍;吳洪浩;謝祥彬;劉兆
• 申請（專利權）人: 江西乾照光電有限公司
• 主分類號: C30B25/10
• 分類號: C30B25/10;C30B25/12;C30B25/16;H01L33/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 尹秀

本申請實施例提供了一種沉積設備及沉積方法、以及沉積設備中溫度檢測點的確定方法，該沉積設備包括：殼體、位于殼體的沉積腔室內加熱裝置、載盤以及位于殼體外的溫度檢測裝置，其中，加熱裝置用于給載盤進行加熱，以通過載盤給襯底加熱，沉積腔室沿預設方向劃分成M個嵌套分布的溫場，溫度檢測裝置包括多個溫度檢測元件，溫度檢測元件與溫場一一對應，用于檢測其對應溫場的溫度，從而可以通過獲取各個溫度檢測元件檢測到的與其對應溫場的溫度，控制加熱裝置，使得各溫場的溫度相同或者在一定的誤差范圍內，以提高M個溫場的溫度均勻性，進而提高LED中外延結構生長過程中的波長的均勻性。

技術領域

本申請涉及LED制造技術領域，尤其涉及一種沉積設備及利用該沉積設備的沉積方法，以及一種沉積設備中溫度檢測點的確定方法。

背景技術

在LED外延片生產過程中，對波長的均勻性的要求一直都很高，這樣不但可以提高產品的良率，也可以減少分選的成本，進而提高LED的利潤，因此，LED外延片生產過程中由內到外的波長均勻性以及LED外延結構內的波長均勻性一直是外延結構制造部門長期監控及改善的參數。在此前提下，如何提高LED中外延結構生長過程中的波長的均勻性成為本領域技術人員的研究熱點。

發明內容

有鑒于此，本申請實施例提供了一種沉積設備及其沉積方法，以及一種沉積設備中溫度檢測點的確定方法，以提高LED中外延結構生長過程中的波長的均勻性。

為實現上述目的，本申請提供如下技術方案：

一種沉積設備，包括：

殼體，所述殼體具有沉積腔室；

位于所述沉積腔室內的加熱裝置；

位于所述加熱裝置上方的載盤，所述載盤背離所述加熱裝置一側表面用于放置襯底，所述加熱裝置用于給所述載盤進行加熱，以通過所述載盤給所述襯底加熱；

位于所述殼體外的溫度檢測裝置，所述溫度檢測裝置位于所述載盤背離所述加熱裝置一側，用于檢測所述沉積腔室內的溫度；

其中，所述沉積腔室沿預設方向劃分成M個溫場，所述M個溫場嵌套分布，M為大于1的整數；所述溫度檢測裝置包括多個溫度檢測元件，所述溫度檢測元件與所述溫場一一對應，用于檢測其對應溫場的溫度。

可選的，所述載盤的直徑為Xmm，所述第1溫度檢測元件到所述載盤中心的距離A₁取值范圍為0.04X～0.1X，包括端點值；

第n溫度檢測元件到所述載盤中心的距離An取值范圍為1.5nA₁～4nA₁，包括端點值；

所述第n溫度檢測元件到所述載盤中心的距離A_n大于第n-1溫度檢測元件到所述載盤中心的距離A_n-1，n為大于1，且不大于M的整數。

可選的，所述殼體朝向溫度檢測裝置一側設置有沿所述載盤半徑方向延伸的滑槽，所述溫度檢測元件通過固定裝置固定在所述滑槽內。

可選的，所述固定裝置包括：

固定支架，所述固定支架的第一端固定所述溫度檢測元件；

位于所述固定支架的第二端的固定件，所述固定件包括第一固定件和第二固定件；

位于所述固定支架上的控制按鈕，在所述控制按鈕被觸發時，所述固定裝置在第一狀態和第二狀態之間切換；

所述固定件具有沿第一方向貫穿所述固定支架的通孔，在所述第一狀態下，所述第一固定件和所述第二固定件位于所述通孔內，所述固定裝置與所述殼體的滑槽分離，在所述第二狀態下，所述第一固定件和所述第二固定件從所述通孔中伸出，所述固定裝置與在所述殼體的滑槽固定連接。