[發明專利]基于鋁合金基體反射鏡的改性層及其加工方法在審
| 申請號： | 202010447716.1 | 申請日： | 2020-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN111610584A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 譚淞年;許永森 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G02B5/08 | 分類號： | G02B5/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹衛良 |
| 地址： | 130033 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 鋁合金 基體 反射 改性 及其 加工 方法 | ||
1.一種基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，包括設置在鋁合金基體反射面上的改性層，所述改性層包括純鋁材質的表面改性層。
2.根據權利要求1所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述基體通過增材制造進行工藝加工。
3.根據權利要求1所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述改性層還包括過渡層，所述過渡層用于增加所述基體與所述表面改性層間的結合強度。
4.根據權利要求1所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述基體材質為AlSi10Mg。
5.根據權利要求1所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述反射面為平面，所述表面改性層的厚度為30μm-40μm。
6.根據權利要求1所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述反射面為曲面，所述表面改性層的厚度為30μm-100μm。
7.根據權利要求3所述的基于鋁合金基體反射鏡的改性層，其特征在于，所述過渡層的厚度為5nm～30nm，所述過渡層材料為Al2O3。
8.一種用于權利要求1-7所述改性層的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟一，對所述反射面的表面進行表面粗糙度處理，使反射面粗糙度優于10nm；
步驟二，對所述反射面進行鍍膜前清潔；
步驟三，在所述反射面的非改性區涂用于保護非改性區的可剝離保護膠；
步驟四，將所述基體固定在真空鍍膜機的工件夾具上，純鋁粒盛裝于氮化硼坩堝中，真空鍍膜機抽取一定真空后開啟烘烤裝備；
步驟五，通過電子束對純鋁進行蒸發和離子源充Ar輔助沉積實現對基體反射面進行表面改性層鍍膜；
步驟六，將基體放在處理爐中進行熱處理，消除表面改性層的內應力和提高表面改性層與基體反射面的結合力；
步驟七，對反射面進行光學加工降低粗糙程度。
9.根據權利要求8所述的改性層的加工方法，其特征在于，所述反射面的表面粗糙度處理為金剛石單點車削加工；所述反射面鍍膜前清潔包括清洗基體表面，通過酒精超聲清洗和純水清洗并通過干燥箱干燥。
10.根據權利要求8所述的改性層的加工方法，其特征在于，所述剝離保護膠為化銑可剝膠；所述真空鍍膜機真空抽至4×10-4Pa；所述電子束對純鋁的蒸發溫度調至1000℃-1800℃；所述輔助沉積的時間設為10小時；所述熱處理的溫度為120℃-150℃，恒溫2小時至8小時。
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