[發明專利]一種深紫外波長激光發射裝置在審
| 申請號： | 202010444890.0 | 申請日： | 2020-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN111478169A | 公開（公告）日： | 2020-07-31 |
| 發明（設計）人： | 李再金;曲軼;李林;喬忠良;趙志斌;曾麗娜;彭鴻雁 | 申請（專利權）人： | 海南師范大學 |
| 主分類號： | H01S3/0933 | 分類號： | H01S3/0933;H01S3/16;H01S3/081;H01S3/109 |
| 代理公司： | 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 571158 海南省*** | 國省代碼： | 海南;46 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 深紫 波長 激光 發射 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種深紫外波長激光發射裝置，其特征在于，包括：808nm半導體激光器；808nm聚焦鏡；Nd:YVO4激光晶體；平面鏡；LBO倍頻；平凹鏡A；CLBO倍頻晶體；平凹鏡B；228.5nm濾光片；808nm半導體激光器發射的808nm激光通過808nm聚焦鏡將808nm激光聚焦到Nd:YVO4激光晶體中，Nd:YVO4激光晶體通過808nm激光泵浦發射914nm激光；914nm激光通過平面鏡反射，再通過LBO倍頻晶體倍頻產生457nm激光；457nm激光通過平凹鏡A反射，依次通過LBO倍頻晶體和平面鏡，再通過CLBO倍頻晶體倍頻產生新波長228.5nm激光；新波長228.5nm激光通過輸出鏡平凹鏡B，最后通過228.5nm濾光片發射新波長228.5nm深紫外激光。
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