[發明專利]一種發射波長228nm全固態激光裝置

在審

• 申請號: 202010444819.2
• 申請日: 2020-05-23
• 公開（公告）號: CN111478168A
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 李再金;曲軼;李林;喬忠良;趙志斌;曾麗娜;彭鴻雁
• 申請（專利權）人: 海南師范大學
• 主分類號: H01S3/0933
• 分類號: H01S3/0933;H01S3/16;H01S3/081;H01S3/109
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 崔自京

本發明公開了一種發射波長228nm全固態激光裝置，包括808nm半導體激光器；808nm聚焦鏡；Nd:YVO₄激光晶體；平面鏡；LBO晶體；平凹鏡A；BBO晶體；平凹鏡B；228nm濾光片。808nm半導體激光器發射的808nm激光通過808nm聚焦鏡將808nm激光聚焦到Nd:YVO₄激光晶體中，Nd:YVO₄激光晶體通過808nm激光泵浦發射914nm激光；914nm激光通過平面鏡，再通過LBO倍頻晶體倍頻產生457nm激光；457nm激光通過平凹鏡A反射，再通過BBO倍頻晶體產生228nm激光；228nm激光通過平凹鏡B反射，再依次通過BBO倍頻晶體和平凹鏡A，最后通過228nm濾光片發射228nm全固態激光。

技術領域

本發明涉及全固態激光技術領域，特別涉及一種發射波長228nm全固態激光裝置。

背景技術

原子熒光光譜法是以原子在輻射能激發下發射的熒光強度進行定量分析的發射光譜分析法，因為其譜線簡單、檢出限低、重復性高、線性范圍寬等優點受到廣大研究者的青睞并獲得廣泛使用。原子熒光光譜法采用的光源通常為空心陰極燈或氙弧燈，其存在很多缺點，壽命短、不穩定，同時存在熒光猝滅效應和散射光的干擾等，光源的缺點導致檢測精度偏高。原子的熒光強度在一定條件下和原子熒光激發光源的強度成正比，通過提高激發光源強度則可進一步提高儀器的檢出限，提高檢測的穩定性。用激光替代傳統激發光源，能提高原子光譜檢測精度。針對環境重金屬污染，228nm全固態激光是一種高強度光源，可作為原子熒光光譜檢測的激發光源的替代光源，從而提高原子熒光光譜儀器的檢出限和檢測的穩定性。

發明內容

本發明的目的在于提出一種發射波長228nm全固態激光裝置。

一種發射波長228nm全固態激光裝置，包括1-808nm半導體激光器、2-808nm聚焦鏡、3-Nd:YVO₄激光晶體、4-平面鏡、5-LBO晶體、6-平凹鏡A、7-BBO晶體、8-平凹鏡B和9-228nm濾光片。

其特征在于：

1-808nm半導體激光器輸出波長范圍為808±3nm，連續輸出最小功率為4W。

2-808nm聚焦鏡前后表面鍍有181.7nm TiO₂/96.7nm SiO₂/156.9 nm TiO₂/94.1nmSiO₂的光學膜。

3-Nd:YVO4激光晶體前表面鍍有108.1nm TiO₂/144.9nm SiO₂/29.8nm TiO₂/280.7nm SiO₂/260.8nm TiO₂/232.1nm SiO₂/62.1nm TiO₂/157.2nm SiO₂/101.5nm TiO₂/156.2nm SiO₂/97.7nm TiO₂/477.3nm SiO₂/105.7nm TiO₂/165.3nm SiO₂/90.8nm TiO₂/96.8nm SiO₂/92.8nm TiO₂/267.2nm SiO₂/256.4nm TiO₂/的光學膜，后表面鍍有31.4nmSiO₂/51.9nm TiO₂/206.8nm SiO₂的光學膜。