[發明專利]一種三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法在審
| 申請號： | 202010440426.4 | 申請日： | 2020-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN111612769A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 李戍華;王玉仁;羅光明;丁克華 | 申請（專利權）人： | 湘潭市錦程半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G06T7/00 | 分類號： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/62;G06T7/64;G06F17/16;G01B11/30 |
| 代理公司： | 湘潭市匯智專利事務所(普通合伙) 43108 | 代理人： | 陳偉 |
| 地址： | 411101 湖南省湘潭*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三極管 封裝 金屬 表面 凹凸 缺陷 檢測 方法 | ||
本發明公開了一種三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法，包括以下步驟：步驟一：利用激光傳感器測得激光傳感器到三極管封裝金屬帽的實際距離
技術領域
本發明涉及平面度檢測領域，特別涉及一種三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法。
背景技術
三極管是集成電路的重要組成器件，三極管通常由基極，集電極和發射極三個金屬引腳、金屬封裝帽、帽座組合而成，三極管的金屬封裝帽實現與外界環境隔離的功能，也是阻止其他干擾因素影響到三極管內部電器屬性的關鍵，同時也是國家標準《GJB-128A-97》檢測必不可少的一個環節，因此三極管金屬封裝帽表面的凹凸性是關系到此類產品能不能達標銷售。三極管金屬封裝帽表面的凹凸性是指三極管金屬封裝帽加工后實際表面相對于標準表面的起伏狀況，為了能保證金屬封帽能起到應有的作用也達到國標，金屬帽精度必須滿足要求，其三極管金屬封裝帽表面凹凸性必須要控制在允許的形位誤差內。快速實現對三極管金屬封裝帽的凹凸缺陷進行檢測并定位是當前亟需解決的問題。
目前，實際生產中針對三極管金屬封裝帽表面凹凸性的檢測，一般采用人工肉眼檢測，或是工業相機檢測，就三極管金屬封裝帽而言，人工檢測耗時且有可能二次損傷，由于三極管金屬封裝帽待測區域面積較小，只能測量三極管金屬封裝帽表面部分區域，不能覆蓋整個圓柱面，很難得到整個三極管金屬封裝帽表面的正確測量結果。由于三極管金屬封裝帽為工廠批量生產，逐一檢測三極管金屬封裝帽，工作量加大，效率降低。
發明內容
為了解決上述技術問題，本發明提供一種操作方便、算法簡單的三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法。
本發明解決上述問題的技術方案是：一種三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法，包括以下步驟：
步驟一：利用激光傳感器測得激光傳感器到三極管封裝金屬帽的實際距離d并映射成實際灰度圖像G，利用激光傳感器測得激光傳感器到三極管封裝金屬帽標準面的距離l并映射成標準灰度圖像H；
步驟二：對實際灰度圖像G和標準灰度圖像H進行差分，得到凹凸目標圖像T，將凹凸目標圖像T進行閾值分割，得到測量灰度圖像C；
步驟三：根據測量灰度圖像C確定三極管封裝金屬帽的凹凸區域數目、位置、面積和凹凸峰值。
上述三極管封裝金屬帽表面凹凸缺陷的檢測方法，所述步驟一具體過程為：
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