[發明專利]一種表面等離激元共振濕度傳感器

在審

• 申請號: 202010439029.5
• 申請日: 2020-05-22
• 公開（公告）號: CN111537474A
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552;G01N21/59
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于，包括：襯底、聚酰亞胺層、貴金屬薄膜、貴金屬塊，所述聚酰亞胺層置于所述襯底上，所述聚酰亞胺層中設有孔洞，所述貴金屬薄膜置于所述聚酰亞胺層的頂部，所述貴金屬塊置于所述孔洞的底部；使用時，所述聚酰亞胺層吸濕膨脹，改變所述貴金屬薄膜和所述貴金屬塊的表面等離激元共振特性，通過探測該共振實現環境濕度的檢測。

2.如權利要求1所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：在所述孔洞側面的上部還設有貴金屬顆粒。

3.如權利要求1所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述孔洞不貫穿整個所述聚酰亞胺層。

4.如權利要求1-3任一項所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述貴金屬薄膜、所述貴金屬塊、所述貴金屬顆粒的材料為金、銀或鉑。

5.如權利要求4所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述襯底的材料為二氧化硅。

6.如權利要求5所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述孔洞為條形。

7.如權利要求6所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述貴金屬薄膜為分離的貴金屬微納結構。

8.如權利要求7所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述貴金屬微納結構為周期性排列的二聚體結構。

9.如權利要求7所述的表面等離激元共振濕度傳感器，其特征在于：所述二聚體結構中兩結構間的距離小于10納米。