[發明專利]一種基于CNTs超表面的THz波傳感器、制備方法及其用途有效
| 申請號： | 202010436778.2 | 申請日： | 2020-05-21 |
| 公開（公告）號： | CN111693494B | 公開（公告）日： | 2023-04-25 |
| 發明（設計）人： | 王玥;張曉菊;崔子健;胡輝;張向;朱永強 | 申請（專利權）人： | 西安理工大學 |
| 主分類號： | G01N21/59 | 分類號： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 710048 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 cnts 表面 thz 傳感器 制備 方法 及其 用途 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于CNTs超表面的THz波傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1、在襯底（1）上垂直生長CNTs陣列；
步驟2、在所述CNTs陣列上拉出超有序排列CNTs薄膜；
步驟3、將所述CNTs薄膜轉移至襯底（1）上；
步驟4、重復步驟2-3，將多層CNTs薄膜疊加得到薄膜層（2）；
步驟5、在所述薄膜層（2）進行表面平整修飾上壓合封裝層（4）；
步驟6、在所述封裝層（4）上切割窗口；
步驟7、在所述薄膜層（2）上刻蝕矩形孔陣結構（3），得到THz波傳感器；步驟2所述的拉膜過程中，拉出速度為8~10m/min；所述薄膜層（2）包括40~100層超有序排列CNTs薄膜；所述矩形孔陣結構（3）的長度為80~150μm，寬度為15-35μm，周期為200~300μm。
2.采用權利要求1所述的制備方法制得的THz波傳感器的用途，其特征在于，用于檢測殘留農藥。
3.采用權利要求2所述的基于CNTs超表面的THz波傳感器的制備方法制得的THz波傳感器的用途，其特征在于，所述THz波傳感器的檢測濃度范圍為1~80ppm。
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