[發明專利]一種超高真空設備

有效

• 申請號: 202010436585.7
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN111530118B
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 王璇;邱恒山;陸彬
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: B01D7/00
• 分類號: B01D7/00
• 代理公司: 鄭州晟佳專利代理事務所(普通合伙) 41205
• 代理人: 張心龍

1.一種超高真空設備，其特征在于：包括真空腔體和外部加熱裝置，外部加熱裝置包括加熱單元，加熱單元包括用于與超高真空設備的真空腔體連通的供靶材放置的殼體管，殼體管的一端為盲端，殼體管的外壁上設置有加熱結構，所述加熱單元通過真空腔體連接單元與超高真空設備的真空腔體連接，真空腔體連接單元包括連通管，連通管的一端設置有第一轉接法蘭用于與真空腔體上的與樣品正對的真空腔第一法蘭連接，連通管的另一端設置有第二轉接法蘭，殼體管的端部設置有用于與第二轉接法蘭連接的第三轉接法蘭，連通管上設置有微漏閥門，連通管上連接有真空泵站，連通管與真空泵站之間設置有調節閥，連通管上還設置有真空計。

2.根據權利要求1所述的超高真空設備，其特征在于：所述殼體管內部沿軸向方向依次間隔設置有第一石英棉和第二石英棉，在使用時靶材位于第一石英棉和第二石英棉之間。

3.根據權利要求1所述的超高真空設備，其特征在于：所述加熱結構包括纏繞于殼體管外壁上的并繞制成螺旋管結構的加熱絲。

4.根據權利要求1所述的超高真空設備，其特征在于：所述殼體管外壁上設有保護罩，加熱絲纏繞于保護罩外壁上。

5.根據權利要求4所述的超高真空設備，其特征在于：所述加熱絲上包裹有絕緣材料。

6.根據權利要求5所述的超高真空設備，其特征在于：所述加熱單元還包括設置于保護罩外側的屏蔽罩，用于隔離加熱絲與外界環境。

7.根據權利要求6所述的超高真空設備，其特征在于：所述保護罩和屏蔽罩均為一端為盲端的金屬套管結構。

8.根據權利要求6所述的超高真空設備，其特征在于：所述加熱單元還包括熱電偶，熱電偶的采集端位于屏蔽罩與電熱絲之間。