[發明專利]固晶設備

有效

• 申請號: 202010436215.3
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN111584698B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 胡新榮
• 申請（專利權）人: 中山市新益昌自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L33/48
• 分類號: H01L33/48;H01L21/67
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 陳延僑

1.一種固晶設備，其特征在于，包括：

傳送裝置(100)，用于驅動基板從前往后移動，且依次經過進板工位(101)、固晶工位(102)、出板工位(103)；

供料裝置(200)，包括晶環(210)、晶環儲料組件(220)、晶環移動組件(230)、晶框移動組件(240)以及頂針組件(250)，所述晶環(210)上設有粘附有至少一個晶片的薄膜，所述晶環儲料組件(220)用于存儲至少一個所述晶環(210)，所述晶環移動組件(230)用于在所述晶環儲料組件(220)和所述晶框移動組件(240)之間搬運所述晶環(210)，所述晶框移動組件(240)帶動所述晶環(210)相對所述頂針組件(250)平移，所述頂針組件(250)在與一所述晶片對應時能夠將該晶片從所述薄膜頂起；

至少兩個固晶裝置(300)，各所述固晶裝置(300)沿前后方向相對設置，且均設置于所述固晶工位(102)，其中，所述固晶裝置(300)包括至少兩個固晶單元(310)，各所述固晶單元(310)從所述供料裝置(200)獲取晶片，并分別固定在所述基板不同區域固晶，所述固晶單元(310)包括邦頭機構(311)、與所述邦頭機構(311)連接的位移驅動機構(312)，所述邦頭機構(311)能夠在所述供料裝置(200)處抓取多個晶片并在所述固晶工位(102)處固定晶片，所述位移驅動機構(312)用于驅動所述邦頭機構(311)在所述供料裝置(200)和所述固晶工位(102)之間往復移動；

所述邦頭機構(311)包括邦頭安裝板(3100)以及至少兩個均安裝于所述邦頭安裝板(3100)的固晶邦頭(3200)，其中，所述固晶邦頭(3200)包括固晶吸嘴(3210)、聯動塊(3220)、固晶驅動器(3230)以及電機安裝座(3240)，所述電機安裝座(3240)連接于邦頭安裝板(3100)，所述固晶吸嘴(3210)用于接收負壓氣體連接并利用負壓氣體吸持晶片，所述聯動塊(3220)與所述固晶吸嘴(3210)連接，所述固晶驅動器(3230)連接于所述電機安裝座(3240)，并用于驅動所述聯動塊(3220)上下運動，且在驅動所述聯動塊(3220)向下運動過程中將所述固晶吸嘴(3210)上吸持的晶片固定到基板上；

所述聯動塊(3220)開設有左右方向延伸設置的活動槽(32201)；

所述固晶驅動器(3230)包括沿前后方向延伸設置的活動筒(3231)、與所述活動筒(3231)連接的轉接件(3232)以及連接于所述電機安裝座(3240)并用于驅動所述轉接件(3232)繞一轉動軸線轉動的驅動電機(3233)，所述活動筒(3231)置于所述活動槽(32201)內，所述活動筒(3231)的中心軸線與所述轉接件(3232)的轉動軸線錯位設置；

所述活動槽(32201)的槽寬等于所述活動筒(3231)的外筒徑。

2.如權利要求1所述的固晶設備，其特征在于，所述聯動塊(3220)包括塊本體(3221)、調節塊(3222)以及連接件(3223)，所述塊本體(3221)開設有粗槽，所述調節塊(3222)位于所述粗槽內，并與所述塊本體(3221)共同形成所述活動槽(32201)，所述連接件(3223)將所述調節塊(3222)可拆卸地連接于所述塊本體(3221)。

3.如權利要求1所述的固晶設備，其特征在于，所述固晶單元(310)還包括取晶鏡頭(330)，所述取晶鏡頭(330)用于輔助所述固晶邦頭(3200)進行準確取晶。

4.如權利要求1所述的固晶設備，其特征在于，所述固晶單元(310)還包括固晶鏡頭(340)以及用于驅動固晶鏡頭(340)左右移動的鏡頭驅動機構(350)，所述固晶鏡頭(340)用于輔助所述固晶邦頭(3200)進行準確固晶。

5.如權利要求1所述的固晶設備，其特征在于，各所述固晶裝置(300)均包括兩個所述固晶單元(310)，兩所述固晶單元(310)在左右方向相對設置。