[發(fā)明專利]一種檢測(cè)管式PECVD的質(zhì)量流量計(jì)是否正常的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010435614.8
• 申請(qǐng)日: 2020-05-21
• 公開（公告）號(hào): CN111649807B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?jiān)迄i;王玉;趙科巍;魯貴林;楊飛飛;秦鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西潞安太陽能科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01F25/10
• 分類號(hào): G01F25/10
• 代理公司: 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，一種檢測(cè)管式PECVD的質(zhì)量流量計(jì)是否正常的方法，管式PECVD的上的質(zhì)量流量計(jì)為正常流量計(jì)時(shí)，記錄管式PECVD的爐管壓力最低時(shí)的壓力值，記錄正常質(zhì)量流量計(jì)量程范圍內(nèi)多個(gè)不同流量值一一對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力，記錄每個(gè)對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力與壓力差值，記錄壓力算術(shù)平均值為；進(jìn)行正常的管式PECVD鍍膜工作，記錄待檢測(cè)的質(zhì)量流量計(jì)與步驟一正常質(zhì)量流量計(jì)對(duì)應(yīng)多個(gè)值，如果偏差超出正常范圍，需要更換新的質(zhì)量流量計(jì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及管式PECVD鍍膜領(lǐng)域。

背景技術(shù)

光伏太陽能PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）工藝是借助射頻使硅烷，氨氣和笑氣氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)在硅片上沉積出氮氧化硅和氮化硅膜薄膜。因此，硅烷，氨氣和笑氣質(zhì)量流量計(jì)的準(zhǔn)確性非常的重要。如果硅烷，氨氣和笑氣質(zhì)量流量計(jì)出現(xiàn)異常，如質(zhì)量流量計(jì)設(shè)定的流量從工控機(jī)顯示正常，但質(zhì)量流量計(jì)設(shè)定值與實(shí)際值出現(xiàn)偏差，會(huì)影響鍍膜的質(zhì)量，出現(xiàn)膜色異常的問題，從而影響電池片的效率和外觀。并且判斷質(zhì)量流量計(jì)是否正常，一般需要很長(zhǎng)時(shí)間，會(huì)影響車間的正常生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是：如何準(zhǔn)確檢測(cè)管式PECVD的質(zhì)量流量計(jì)是否正常。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種檢測(cè)管式PECVD的質(zhì)量流量計(jì)是否正常的方法，按照如下的步驟進(jìn)行

步驟一、管式PECVD的上的質(zhì)量流量計(jì)為正常流量計(jì)時(shí)，記錄管式PECVD的爐管壓力最低時(shí)的壓力值P_S0，記錄正常質(zhì)量流量計(jì)量程范圍內(nèi)多個(gè)不同流量值M₁至M_n一一對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力P_S1至P_Sn，記錄P_S1至P_Sn每個(gè)對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力與P_S0的壓力差值P_SS10至P_SSn0，記錄P_SS10至P_SSn0的壓力算術(shù)平均值為P_S；

步驟二、將待檢測(cè)的質(zhì)量流量計(jì)安裝在管式PECVD上；

步驟三、進(jìn)行正常的管式PECVD鍍膜工作，記錄管式PECVD的爐管壓力最低時(shí)的壓力值P_c1，記錄待檢測(cè)的質(zhì)量流量計(jì)與步驟一正常質(zhì)量流量計(jì)對(duì)應(yīng)的多個(gè)不同流量值M₁至M_n一一對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力P_c1至P_cn，記錄P_c1至P_cn每個(gè)對(duì)應(yīng)的管式PECVD的爐管壓力與P_c0的壓力差值P_cc10至P_ccn0，記錄P_cc10至P_ccn0的壓力算術(shù)平均值為P_c，n為大于等于3的自然數(shù)；

步驟四、如果（|P_c-P_S|/ P_S）*100%小于10%，說明待檢測(cè)的質(zhì)量流量計(jì)正常，返回步驟三，當(dāng)（|P_c-P_S|/ P_S）*100%大于等于10%時(shí)，需要更換新的質(zhì)量流量計(jì)，然后返回步驟二。

壓力值P_S0與壓力值P_c1相等。