[發(fā)明專利]一種基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010433035.X
• 申請(qǐng)日: 2020-05-21
• 公開（公告）號(hào): CN111562406A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山科立特光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01P15/08
• 分類號(hào): G01P15/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于，包括：振源、底座、懸臂梁、質(zhì)量塊，所述底座固定在所述振源上，所述懸臂梁的一端固定在所述底座上，所述質(zhì)量塊固定在所述懸臂梁的另一端；工作時(shí)，所述懸臂梁在所述振源作用下發(fā)生振動(dòng)，在加速度的作用下，所述質(zhì)量塊壓縮所述懸臂梁，改變所述懸臂梁中的應(yīng)力，從而改變所述懸臂梁的共振頻率，通過檢測(cè)所述懸臂梁共振的頻率實(shí)現(xiàn)加速度探測(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述振源為壓電晶振片，所述懸臂梁為半導(dǎo)體材料或金剛石。

3.如權(quán)利要求2所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述質(zhì)量塊為壓電材料。

4.如權(quán)利要求3所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述壓電材料為鋯鈦酸鉛或聚偏二氟乙烯材料。

5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：還包括底部塊，所述底部塊為壓電材料，所述底部塊固定在所述底座上，所述懸臂梁固定在所述底部塊上。

6.如權(quán)利要求5所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述質(zhì)量塊與所述底部塊的材料相同。

7.如權(quán)利要求6所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述懸臂梁的截面積小于所述底部塊的表面積。

8.如權(quán)利要求7所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：在所述底部塊的表面還設(shè)有附加塊。

9.如權(quán)利要求8所述的基于懸臂梁振動(dòng)的加速度傳感器，其特征在于：所述附加塊與所述懸臂梁不接觸。