[發(fā)明專(zhuān)利]一種表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010431005.5
• 申請(qǐng)日: 2020-05-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111537473A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 金華伏安光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/552
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/552;G01N27/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于，包括襯底、電絕緣部、金屬氧化物部、源極、漏極、有機(jī)分子、貴金屬顆粒，所述電絕緣部和所述金屬氧化物部置于所述襯底上，所述金屬氧化物部?jī)?nèi)設(shè)置有貫穿的縫隙，所述電絕緣部置于所述金屬氧化物部的兩側(cè)，所述源極和所述漏極置于所述電絕緣部上，所述有機(jī)分子延伸于所述源極和所述漏極間，所述貴金屬顆粒置于所述有機(jī)分子和所述金屬氧化物部上；使用時(shí)，首先在氧氣環(huán)境中和激光照射下，測(cè)量所述源極和所述漏極之間的電導(dǎo)，然后在待測(cè)氣體分子環(huán)境中和激光照射下，測(cè)量所述源極和所述漏極之間的電導(dǎo)，通過(guò)兩電導(dǎo)之間的差值實(shí)現(xiàn)氣體分子檢測(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：所述源極和所述漏極的材料為金或石墨烯。

3.如權(quán)利要求2所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：所述有機(jī)分子為十二烷基硫醇、蒽硫醇、辛二硫醇。

4.如權(quán)利要求3所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：所述金屬氧化物部為三氧化二鐵、氧化銅、氧化鋅、四氧化三鈷、氧化鎳、氧化鈦中的一種或多種組成。

5.如權(quán)利要求4所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：所述貴金屬顆粒為金，所述貴金屬顆粒的粒徑為20納米-80納米。

6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：在所述金屬氧化物部上還設(shè)有金屬氧化物顆粒。

7.如權(quán)利要求6所述的表面等離激元增強(qiáng)的分子器件氣體傳感器，其特征在于：所述金屬氧化物顆粒的材料與所述金屬氧化物部的材料不同。