[發明專利]半導體設備的配置文件修改方法及裝置

在審

• 申請號: 202010430752.7
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN111625273A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 雷花;楊洋;相會鳳
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06F8/71
• 分類號: G06F8/71;G06F8/34;G06F9/445
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

本公開實施例公開了一種半導體設備的配置文件修改方法及裝置。其中，半導體設備的配置文件修改方法，包括：獲取預先設置的配置文件，并將其轉換為第一解析文件；從所述第一解析文件中獲取標準配置項；響應于配置操作，對相應的標準配置項進行修改；設置關聯標準配置項的狀態為屏蔽狀態，所述關聯標準配置項為與修改的標準配置項互斥的標準配置項；基于所述修改的標準配置項得到修改后的配置文件；將所述修改后的配置文件，同步加載到指定設備端。根據用戶的操作，對標準配置項進行修改，從而自動完成對配置文件的修改，提升修改效率，實現一次性修改設備端控制程序與用戶界面程序兩端的配置文件，提高了修改準確性。

技術領域

本公開屬于半導體設備領域，更具體地，涉及一種半導體設備的配置文件修改方法及裝置。

背景技術

半導體生產設備的軟件控制系統，首先需具備穩定、可靠的控制功能。設備的軟件控制系統采用分布式的上下位機，以網絡通信方式傳輸數據與控制命令。其中靠近用戶的一端，稱為用戶界面或者界面控制程序。靠近設備的另一端，稱為設備端控制程序。

在軟件系統的設計中，為支持設備多種模塊的通用性以及設備的客戶化，提供靈活的配置方式，以使應用程序實現最大程度的復用，會基于Xml格式文件存儲全部可配置內容，這些Xml文件在應用程序啟動或運行時被讀取，由此使應用程序實現完整的設備模塊構建和設備控制。用戶通過修改配套的配置文件，就可以實現軟件控制系統對設備的控制功能改變，由此實現對設備的不同控制要求。

同時，隨著設備的越來越集成化，對軟件控制系統也要求更好的集成，相應地需要軟件系統具有更好的兼容、配置和擴展性。此時，相比于單一類型設備的配置文件修改操作，集成化設備的軟件控制系統的配置文件修改操作，成為一項更為重要和復雜的工作，不僅產生更大工作量，也隨著為適應不同客戶端配置變更頻度增加而要求配置文件修改操作的準確性。而隨著軟件控制系統的集成，使配套的配置文件內容顯著增多，對完全依賴于手動方式修改配置文件是個挑戰。

在實現本發明過程中，發明人發現現有技術中至少存在如下問題：

設備集成化后，由于兼容性需要，相應的集成化軟件控制應用代碼，包含了多種設備類型的控制方式。通過修改集成后的配置文件，就可以實現針對不同客戶端進行具體設備類型配置。配置文件中，對應于集成化的控制應用代碼，也包含多種設備類型的控制方式的配置內容。原來只需要分別在各自類型獨立的應用代碼范圍內修改的配套的配置文件，現在面臨全部需要在配置文件中完成修改。

在對集成化的配置文件修改時，集成化的配置文件包含了同一類配置項中全部可選擇控制方式的配置內容，修改指定配置項的配置值后，還需要對該一類配置項中其他相關配置值進行設置。例如，在Xml文檔中需將與指定配置項互斥的配置值屏蔽，一種屏蔽方式是通過將XmlDocument對象的XmlNode類型由XmlElement轉換為XmlComment來實現。任何修改之前，配置文件中包含了全部可選控制方式的配置內容，因此配置文件不一定是應用程序可以直接啟用。因此，需要互斥處理。

由于界面控制程序與設備端控制程序分布式部署，當修改完成一端的配置文件后，需要相應地修改另外一端的配置文件中對應配置項，相同的修改過程先后需要在兩端總共執行兩次，造成工作量增加了一倍，相應地修改過程中帶來的錯誤也就增加。相當于將修改過程在工作量復制一倍而準確性相應地下降。兩處的配置文件分別修改完成后，需要手動啟動設備端控制程序，啟動完成后手動啟動界面控制程序。在啟動界面控制程序的過程中，由于兩端的修改過程均為手動修改，手動修改過程中可能導致兩處修改存在了差異，而需要通過多次反復啟動嘗試發現匹配差異的位置，總體上降低了修改過程中一次性達到兩端配置內容完全匹配的效率。

綜上所述現有技術手動修改存在以下問題：

(1)修改效率低：修改的工作量增加一倍；