[發(fā)明專利]離子檢測(cè)器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010429613.2
• 申請(qǐng)日: 2020-05-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111986978A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林浩之;高塚清香;鷲山雄哉;柳原悠人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J49/06
• 分類號(hào): H01J49/06;H01J43/30
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種離子檢測(cè)器，其特征在于，

具備：

電子倍增部，其響應(yīng)于帶電粒子的入射而放出電子；

信號(hào)輸出部，其配置于從所述電子倍增部放出的所述電子到達(dá)的位置，接受所述電子并輸出電信號(hào)；

信號(hào)輸出端子，其經(jīng)由信號(hào)線而與所述信號(hào)輸出部的輸出端連接；以及

AC耦合器，其配置于所述信號(hào)線上，

所述AC耦合器具有：

樹(shù)脂薄片，其具有面向配置有所述信號(hào)輸出部的一側(cè)的第一主面、以及與所述第一主面相對(duì)并且面向配置有所述有信號(hào)輸出端子的一側(cè)的第二主面；

第一導(dǎo)電部，其配置于所述樹(shù)脂薄片的所述第一主面上并且電連接于所述信號(hào)輸出部的所述輸出端；以及

第二導(dǎo)電部，其在沿從所述第一主面朝向所述第二主面的方向觀察所述樹(shù)脂薄片時(shí)以至少一部分與所述第一導(dǎo)電部重疊的方式配置于所述樹(shù)脂薄片的所述第二主面上，電連接于所述信號(hào)輸出端子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述AC耦合器還具有：

第一保護(hù)膜，其以覆蓋所述第一導(dǎo)電部的至少一部分的狀態(tài)設(shè)置于所述樹(shù)脂薄片的所述第一主面上；以及

第二保護(hù)膜，其以覆蓋所述第二導(dǎo)電部的至少一部分的狀態(tài)設(shè)置于所述樹(shù)脂薄片的所述第二主面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述第一保護(hù)膜和所述第二保護(hù)膜分別由樹(shù)脂材料構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述樹(shù)脂材料是液晶聚合物、聚酯膜、聚酰亞胺和聚酰胺中的任一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述AC耦合器還具有與所述樹(shù)脂薄片的所述第二主面抵接的絕緣性的第一加強(qiáng)構(gòu)件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述AC耦合器還具有與所述樹(shù)脂薄片的所述第一主面抵接的絕緣性的第二加強(qiáng)構(gòu)件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述信號(hào)輸出部包含發(fā)揮作為陽(yáng)極的功能的所述第一導(dǎo)電部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的離子檢測(cè)器，其特征在于，

所述電子倍增部包含由一個(gè)或其以上的MCP構(gòu)成的MCP單元、溝道型電子倍增部、以及由多級(jí)倍增極構(gòu)成的倍增極單元中的任一種。