[發(fā)明專利]一種用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置及設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010426002.2 | 申請(qǐng)日： | 2020-05-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111499180A | 公開（公告）日： | 2020-08-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李震宇;修建勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 武漢光盛通光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C03B37/018 | 分類號(hào)： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102 | 代理人： | 劉秋芳 |
| 地址： | 430064 湖北省武漢市武昌區(qū)*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 氣相法 高溫 摻雜 注入 裝置 設(shè)備 | ||
1.一種用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：包括內(nèi)置于保溫隔熱套管內(nèi)的氣體輸送管及加熱測溫棒，所述保溫隔熱套管設(shè)置于高純石英套管內(nèi)，所述氣體輸送管為耐腐蝕不銹鋼材質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述加熱測溫棒設(shè)于保溫隔熱套管的中間位置，所述氣體輸送管至少為兩個(gè)，布置在加熱測溫棒的外周。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述保溫隔熱套管包括金屬套管和在金屬套管外包覆的保溫層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述保溫層的厚度為1～1.3mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述保溫層為耐高溫膠帶。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述原料輸送管的輸出端穿過密封元件通入反應(yīng)管中，所述密封元件的外周與高純石英套管內(nèi)壁密封配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于氣相法高溫?fù)诫s制棒的注入管裝置，其特征在于：所述密封元件為全氟橡膠密封塊。
8.一種用于氣相法高溫?fù)诫s棒設(shè)備，其特征在于：包括權(quán)利要求1至7中任一一項(xiàng)所述的注入管裝置，所述注入管裝置的輸出端與反應(yīng)管及車床制棒系統(tǒng)相配置，所述注入管裝置的輸入端與高溫?fù)诫s系統(tǒng)相配置。
9.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于氣相法高溫?fù)诫s棒設(shè)備，其特征在于：注入管裝置通過氣端旋轉(zhuǎn)密封裝置支撐固定，所述反應(yīng)管通過旋轉(zhuǎn)密封裝置與兩端卡盤夾持旋轉(zhuǎn)密封。
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