[發明專利]一種應用于多脈沖激光共沉積的靶材

有效

• 申請號: 202010424392.X
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN111349898B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 郁彩艷;白瑩;趙慧玲;尹延鋒
• 申請（專利權）人: 河南大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 鄭州優盾知識產權代理有限公司 41125
• 代理人: 王紅培

1.一種應用于多脈沖激光共沉積的靶材，包括可被獨立拆裝的圓形靶材模塊（101）和環形靶材模塊（102），其特征在于：所述圓形靶材模塊（101）置于環形靶材模塊（102）中間固定成圓形靶材，圓形靶材模塊（101）和環形靶材模塊（102）的側壁設有貫通孔（103），貫通孔（103）內設有貫通柱（104），貫通柱（104）的兩端露出設置，所述圓形靶材模塊（101）設置為一個，環形靶材模塊（102）設置為一個或多個。

2.根據權利要求1所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述靶材與靶托配合設置，靶材置于靶托上設置的圓形凹槽內，貫通柱（104）的長度等于圓形凹槽的內直徑。

3.根據權利要求1所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述圓形靶材模塊（101）和環形靶材模塊（102）之間或兩個環形靶材模塊（102）之間設有環形隔離模塊（105），環形隔離模塊（105）的側壁上設有貫通孔（103）。

4.根據權利要求1所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述貫通孔（103）位于1/2靶材厚度以下的位置。

5.根據權利要求1所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述貫通柱（104）兩端部均記為零刻度線，中間為最大刻度線。

6.根據權利要求3所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述環形隔離模塊（105）的材質為不銹鋼。

7.根據權利要求1-6任一項所述的應用于多脈沖激光共沉積的靶材，其特征在于：所述圓形靶材模塊（101）和環形靶材模塊（102）為兩種或兩種以上陶瓷材料制備。