[發明專利]一種壓電傳感器

在審

• 申請號: 202010423810.3
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN111584709A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 馬春林;程菊;馮小勤
• 申請（專利權）人: 淮陰師范學院
• 主分類號: H01L41/113
• 分類號: H01L41/113;H01L41/047
• 代理公司: 廣州高炬知識產權代理有限公司 44376
• 代理人: 陳文龍

1.一種壓電傳感器，其特征在于：包括基板、設置于基板上的下部電極(5)、設置于下部電極(5)上的壓電薄膜(6)及設置于壓電薄膜(6)上的上部電極(7)；所述基板包括硅基底板(1)、柔性弧形基底(3)及柔性頂板(4)，所述硅基底板(1)之間設置有輔助槽口(2)，所述輔助槽口(2)兩側邊之間設置有向上拱起的柔性弧形基底(3)，所述柔性弧形基底(3)及柔性頂板(4)所用的材料為聚二甲基硅氧烷；所述柔性弧形基底(3)上設置有柔性頂板(4)，所述柔性頂板(4)中部下側面與柔性弧形基底(3)上側面粘合，所述柔性頂板(4)兩端下側面延伸至柔性頂板(4)上表面并與其粘合，所述柔性頂板(4)上表面與下部電極(5)下表面粘合。

2.根據權利要求1所述的一種壓電傳感器，其特征在于：所述壓電薄膜(6)多個膜狀壓電體疊層而成的疊層體，所述膜狀壓電體為偏氟乙烯-四氟乙烯系共聚物壓電體。

3.根據權利要求1所述的一種壓電傳感器，其特征在于：所述上部電極(7)上端沿其邊緣設置有上凸的凸臺。

4.根據權利要求1所述的一種壓電傳感器，其特征在于：所述柔性頂板(4)上間隔設置有多個第一鏤空槽(11)，所述第一鏤空槽(11)通過依次貫穿、下部電極(5)、壓電薄膜(6)及上部電極(7)的第一釋放孔(8)與外部空間連通。

5.根據權利要求4所述的一種壓電傳感器，其特征在于：所述上部電極(7)上端間隔設置有多個第一沉槽(9)，所述第一沉槽(9)均沿前后方向布置，所述第一沉槽(9)位于相鄰所述第一鏤空槽(11)之間。

6.根據權利要求5所述的一種壓電傳感器，其特征在于：位于所述第一沉槽(9)下方的下部電極(5)上對應設置有第二鏤空槽(12)，所述第二鏤空槽(12)通過第二釋放孔(10)與第一沉槽(9)連通。