[發明專利]一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝

有效

• 申請號: 202010423181.4
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN111599892B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 趙衛東;劉旦生;鞠飛;王斯明;劉才廣;江興峰
• 申請（專利權）人: 江蘇東鋆光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0236
• 代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務所(普通合伙) 32380
• 代理人: 孫燕波

本發明公開了一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，選取金剛線切割得到的多晶硅片為基片，將基片依次放入硝酸、氫氟酸中進行清洗拋光，去除基片表面損傷層；再在基片正表面制備光刻掩膜層，再通過蒸汽制絨法制絨，接著在基片正表面通過POCL₃液態擴散源熱擴散法制備P?N結，最后在基片正表面進行濕法刻蝕，鍍減反射膜，印刷燒結，得到成品；本發明公開了一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，工藝設計合理，操作簡單可控，選用金剛線切割的硅片作為基片進行加工，制備得到電學性能優異的電池片，從而提高太陽能電池的開路電壓，短路電流及填充因子，提高轉換效率，實現降本提效的目的，具有較高的實用性。

技術領域

本發明涉及太陽能電池技術領域，具體是一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝。

背景技術

目前對新能源的研究和開發主要集中在太陽能、風能、地熱能等可再生能源，由于太陽能資源豐富、分布廣泛、是最具發展潛力的新能源。在現代化生產發展的今天，石油、煤、天然氣等化石然料無法滿足發展對能源的需求，并且化石能源的大量使用導致全球氣候變暖，自然災害頻繁。而太陽能因其便利、安全可靠、資源充足等優點，已成為世界各國重點支持和發展的新型產業。

雖然晶體硅太陽能電池在近幾年有了很大的發展，許多新型技術的引用使晶體硅太陽能電池的效率有了較大的提高，但較高的生產成本依然是目前晶體硅電池行業發展的最大制約因素，因此研究和開發高效、廉價的太陽能電池是世界各國光伏行業攻關的課題。

為降低發電的度電成本，大面積、薄片化和高效率是晶體硅太陽能電池行業的發展趨勢。金剛線切割技術是降低硅片成本的里程性的技術革新，由于電池片制成工藝的限制，早期，金剛線切割僅用于單晶硅片的切割，實現了單晶硅電池片發電成本的快速下降，隨著金剛線多晶硅片切割及相關電池技術快速的發展，金剛線切割多晶硅片在電池制成過程中的技術難點正逐步被攻克，在電池制備端，新型添加劑不斷涌現、干法和濕法黑硅制絨技術取得最大突破，實現了金剛線切割多晶硅片的有效制絨，金剛線切割硅片的使用將使得多晶電池片的發電成本得到大幅降低。

針對該情況，研發人員針對金剛線切割硅片電池片制程中的技術難點進行研究攻克，使其加工工藝進行改進，提高加工效率，簡化加工流程，減低成本，這是我們亟待解決的技術問題之一。

發明內容

本發明的目的在于提供一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，以解決現有技術中的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，包括以下步驟：

1)選料：選取金剛線切割得到的多晶硅片為基片；

2)制絨：在基片正表面制備光刻掩膜層，再通過蒸汽制絨法制絨；

3)擴散：取步驟2)制絨處理后的基片，在基片正表面通過POCL₃液態擴散源熱擴散法制備P-N結；

4)鍍膜：取步驟3)擴散處理后的基片，在基片正表面進行濕法刻蝕，鍍減反射膜；

5)印刷，燒結，得到成品。

較優化的方案，包括以下步驟：