[發明專利]一種柔性薄膜附加均勻徑向預緊力的高平面度固定方法

在審

• 申請號: 202010422718.5
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN111620296A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 劉鑫;杜俊峰;范斌;邊疆;雷柏平
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B82Y40/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種柔性薄膜附加均勻徑向預緊力的高平面度固定方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟1、利用上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)將柔性薄膜(2)夾持；

步驟2、通過螺釘將上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)緊固；

步驟3、取一塊高平面度硬質材料基底(4)；

步驟4、通過上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)自身重力或施加應力的方式，柔性薄膜(2)緊密貼覆在高平面度硬質材料基底(4)的表面，同時使柔性薄膜(2)沿徑向各個方向的伸長量一致，令其具有均勻的徑向預緊力；

步驟5、制作一個帶有注膠孔(7)和導流槽(8)的框體(5)；

步驟6、將框體(5)水平放置在柔性薄膜(2)的上方中心位置，向注膠孔(7)內注入膠黏劑(6)至完全填充導流槽(8)，并對膠黏劑(6)進行固化；

步驟7、待膠黏劑(6)將柔性薄膜(2)與框體(5)完全粘合后，沿框體(5)外邊緣將柔性薄膜(2)劃開，并與高平面度硬質材料基底(4)分離開來；

步驟8、獲得由柔性薄膜(2)、框體(5)、膠黏劑(6)共同組成的附加均勻徑向預緊力且高平面度固定的柔性薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種柔性薄膜附加均勻徑向預緊力的高平面度固定方法，其特征在于：步驟4中利用上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)自身重力或施加應力的方式使柔性薄膜(2)與高平面度硬質材料基底(4)的表面接觸時，需要保證上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)的回轉中心與硬質材料基底(4)的回轉中心同軸；應力施加的過程中，下金屬工裝(3)的上表面需要始終平行于硬質材料基底(4)的上表面；此時，柔性薄膜(2)的縱向位置被硬質材料基底(4)約束，在由上金屬工裝(1)和下金屬工裝(3)傳遞至柔性薄膜的拉應力作用下，與硬質材料基底(4)接觸的柔性薄膜(2)發生徑向拉伸；在上述條件的限制下，柔性薄膜(2)沿徑向各個方向的伸長量一致，使得柔性薄膜(2)沿徑向附加的預緊力非常均勻，并且，預緊力的大小可以通過控制硬質材料基底(4)上表面與柔性薄膜(2)邊緣位置下表面的相對距離d來調節。

3.根據權利要求1所述的一種柔性薄膜附加均勻徑向預緊力的高平面度固定方法，其特征在于：步驟5中的框體(5)包括注膠孔(7)和導流槽(8)兩部分，其中，導流槽(8)的寬度w1需大于注膠孔(7)的寬度w2，以保證框體(5)和柔性薄膜(2)的粘合面積足夠大，粘合性足夠強；導流槽(8)的高度h1需小于注膠孔(7)的高度h2，以保證加工導流槽(8)時去除的材料足夠少，框體(5)具有足夠的強度；注膠孔(7)的作用是使膠黏劑(6)可以順利注入導流槽(8)中，導流槽(8)的作用是促進膠黏劑(6)完全填充框體(5)和柔性薄膜(2)之間的間隙，使得框體(5)粘合區域的柔性薄膜(2)下表面的平面度等于高平面度硬質材料基底(4)上表面的平面度；這樣，步驟7中的沿框體(5)外邊緣將柔性薄膜(2)劃開且與硬質材料基底(4)分離之后，在均勻的徑向預緊力作用下，步驟8中的柔性薄膜(2)仍能保持高平面度的繃緊狀態，從而實現柔性薄膜(2)附加均勻徑向預緊力的高平面度固定。