[發明專利]提拉涂膜夾具、提拉涂膜設備及提拉涂膜方法

在審

• 申請號: 202010422036.4
• 申請日: 2020-05-18
• 公開（公告）號: CN111482333A
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 惠浩浩;雷向陽;楊偉;鄧雪然;王天宇;袁志剛;張帥;馬紅菊;張劍鋒;蘇文虎;高睿;張利平;朱玉潔;張清華
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;B05C3/10;B05D1/18
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 付興奇

1.一種提拉涂膜夾具，其特征在于，包括：

主體，所述主體具有凹槽和圍設于所述凹槽四周的平臺，所述平臺用于放置待涂膜元件；

密封圈，所述密封圈圍設于所述凹槽的四周且與所述平臺密封連接；以及

兩個壓桿，所述兩個壓桿能夠分別與所述凹槽兩側的平臺可拆卸連接，所述兩個壓桿被配置為作用于待涂膜元件的兩個側邊且與所述平臺連接，以將放置于所述平臺上的待涂膜元件緊貼于所述密封圈。

2.根據權利要求1所述的提拉涂膜夾具，其特征在于，所述平臺的臺面平整度不大于130μm。

3.根據權利要求1所述的提拉涂膜夾具，其特征在于，所述平臺包括沿所述凹槽的周邊依次連接設置的第一臺面、第二臺面、第三臺面和第四臺面，所述第一臺面和所述第三臺面均設有至少兩個用于與所述壓桿可拆卸連接的凸臺，所述凸臺位于所述密封圈的外圍。

4.根據權利要求3所述的提拉涂膜夾具，其特征在于，所述第二臺面設有至少一個保護臺，所述保護臺位于所述密封圈的外圍，以限制所述待涂膜元件從所述提拉涂膜夾具滑脫。

5.根據權利要求3所述的提拉涂膜夾具，其特征在于，還包括掛架，所述第四臺面設有柱臺，所述柱臺位于所述密封圈的外圍，所述掛架與所述柱臺固定連接。

6.根據權利要求1所述的提拉涂膜夾具，其特征在于，所述壓桿包括緊固部和固定部，所述緊固部用于與所述平臺可拆卸地連接，所述固定部用于與所述密封圈配合夾持固定放置于所述平臺上的待涂膜元件。

7.一種提拉涂膜設備，其特征在于，包括機械臂和如權利要求1至6任一項所述的提拉涂膜夾具，所述提拉涂膜夾具掛設于所述機械臂，所述機械臂能夠帶動所述提拉涂膜夾具運動。

8.一種提拉涂膜方法，其特征在于，采用如權利要求1至3任一項所述的提拉涂膜夾具，包括：

將所述密封圈固定在所述平臺上，將所述待涂膜元件放置在所述平臺上使所述待涂膜元件與所述密封圈完全接觸，將所述兩個壓桿分別壓在所述待涂膜元件的相對的兩個側邊，并將所述兩個壓桿與所述平臺連接，以將所述待涂膜元件固定在所述壓桿與所述平臺之間；

將所述提拉涂膜夾具提起使所述壓桿垂直于涂膜液的液面，將所述提拉涂膜夾具沿所述壓桿的長度方向浸入所述涂膜液中，再拉出，靜置至所述待涂膜元件表面形成膜層。

9.根據權利要求8所述的提拉涂膜方法，其特征在于，所述平臺具有頂部、底部以及兩側，所述兩個壓桿分別與所述平臺的兩側連接；

所述平臺的底部具有用于保護所述待涂膜元件的保護臺的提拉涂膜夾具，且所述保護臺的高度小于所述待涂膜元件的厚度，使所述待涂膜元件放置在所述平臺上時，所述保護臺未凸出于所述待涂膜元件的表面。

10.根據權利要求9所述的提拉涂膜方法，其特征在于，所述平臺的頂部具有用于與掛架連接的柱臺的提拉涂膜夾具，且所述柱臺的高度小于所述待涂膜元件的厚度，使所述待涂膜元件放置在所述平臺上時，所述柱臺未凸出于所述待涂膜元件的表面。