[發明專利]濾波器裝置和等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 202010419680.6
• 申請日: 2018-04-25
• 公開（公告）號: CN111564358B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 奧西直彥;永島望
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H03H7/01;H01F27/28;H01F27/40
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種濾波器裝置，具備：

第一線圈組，其由沿中心軸線配置且以第一內徑螺旋狀地卷繞的多個線圈構成；以及

第二線圈組，其由沿所述中心軸線配置且以比所述第一內徑大的第二內徑螺旋狀地卷繞的多個線圈構成，

其中，所述第二線圈組的各個線圈的單匝線圈間的間距比所述第一線圈組的各個線圈的單匝線圈間的間距大。

2.根據權利要求1所述的濾波器裝置，其特征在于，

還具備第三線圈組，該第三線圈組由沿所述中心軸線配置且以比所述第二內徑大的第三內徑螺旋狀地卷繞的多個線圈構成，

所述第三線圈組的各個線圈的單匝線圈間的間距比所述第二線圈組的各個線圈的單匝線圈間的間距大。

3.根據權利要求2所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述濾波器裝置的各個線圈中的具有最大線圈長度的線圈與具有最小線圈長度的線圈之間的線圈長度之差為所述最小線圈長度的3％以下。

4.根據權利要求3所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述濾波器裝置的各個線圈分別具有從一端沿所述中心軸線的方向延伸的引出線，

在所述線圈組的各個線圈組中，所述引出線相對于所述中心軸線沿周向等間隔地設置。

5.根據權利要求4所述的濾波器裝置，其特征在于，

所述濾波器裝置的各個線圈的所述引出線相對于所述中心軸線設置在具有90°以上270°以下的角度的角度范圍內。

6.根據權利要求5所述的濾波器裝置，其特征在于，還具備：

電容器，其分別連接在所述濾波器裝置的各個線圈與地之間；以及

框架，其電接地，在該框架中收納有所述濾波器裝置的各個線圈。

7.一種等離子體處理裝置，具備：

腔室；

工作臺，其設置在所述腔室內；

多個加熱器，所述多個加熱器設置于所述工作臺；

加熱器控制器，其用于向所述多個加熱器提供電力；以及

根據權利要求1～6中的任一項所述的濾波器裝置，

其中，所述濾波器裝置的各個線圈電連接在所述多個加熱器中的對應的加熱器與所述加熱器控制器之間。