[發(fā)明專利]一種單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件及單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010419341.8
• 申請(qǐng)日: 2020-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN111424315B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊文武;沈福哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B15/14
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;陳麗寧

1.一種單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，包括：

設(shè)置于單晶爐熱場(chǎng)內(nèi)的坩堝底部的底部加熱器，所述底部加熱器的中部設(shè)有通孔，且所述通孔內(nèi)設(shè)有絕緣軸承套，所述底部加熱器通過(guò)所述絕緣軸承套固定于所述坩堝的坩堝軸上，以使所述底部加熱器在所述坩堝軸帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)；

及至少一組導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件包括導(dǎo)軌和滑動(dòng)件，所述導(dǎo)軌設(shè)置在所述底部加熱器的側(cè)面，所述導(dǎo)軌的導(dǎo)向方向與所述坩堝軸的軸向相同，所述滑動(dòng)件連接至所述底部加熱器，且所述滑動(dòng)件以可移動(dòng)方式設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述滑動(dòng)件在所述底部加熱器帶動(dòng)下沿所述導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件還包括：用于向所述底部加熱器施加電信號(hào)的兩個(gè)電極，所述底部加熱器上設(shè)有兩個(gè)電接入端，所述導(dǎo)向組件至少有兩組，并分別設(shè)置在所述底部加熱器的相對(duì)兩側(cè)，每一所述電接入端通過(guò)一組所述導(dǎo)向組件與一個(gè)所述電極電連接；其中，一組所述導(dǎo)向組件中，所述導(dǎo)軌與所述滑動(dòng)件之間電連接，所述滑動(dòng)件與對(duì)應(yīng)的所述電接入端電連接，所述導(dǎo)軌與對(duì)應(yīng)的所述電極連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述導(dǎo)向組件還包括：第一轉(zhuǎn)接頭和第二轉(zhuǎn)接頭；

所述第一轉(zhuǎn)接頭為套環(huán)結(jié)構(gòu)，所述第二轉(zhuǎn)接頭為板狀結(jié)構(gòu)；

所述電接入端與所述第二轉(zhuǎn)接頭之間通過(guò)所述第一轉(zhuǎn)接頭固定連接；

所述第二轉(zhuǎn)接頭上設(shè)有第一螺紋孔，所述滑動(dòng)件包括連接桿和滑塊，所述滑塊可移動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述連接桿為L(zhǎng)型桿，包括彎折設(shè)置的第一段和第二段，所述第一段上設(shè)有外螺紋，所述第一段穿過(guò)所述第一螺紋孔內(nèi)，以與所述第二轉(zhuǎn)接頭進(jìn)行螺紋連接，并通過(guò)螺母緊固，所述第二段與所述滑塊連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述導(dǎo)軌包括軌道部和連接部，所述軌道部沿所述坩堝軸的軸向方向延伸，所述連接部與所述軌道部之間呈夾角，所述連接部上設(shè)有第二螺紋孔4121，所述第二螺紋孔4121內(nèi)穿裝螺栓，所述螺栓與所述電極電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述第一轉(zhuǎn)接頭、所述第二轉(zhuǎn)接頭、所述連接桿、所述滑動(dòng)件及所述導(dǎo)軌均為導(dǎo)體，以使所述電接入端與所述電極通過(guò)所述導(dǎo)向組件進(jìn)行電連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述底部加熱器為螺旋盤型結(jié)構(gòu)，包括：

中部設(shè)有所述通孔的圓環(huán)；

相互嵌套在一起的至少兩個(gè)螺旋盤；

至少兩個(gè)螺旋盤中，其中一個(gè)螺旋盤的一端自所述圓環(huán)的第一端開始螺旋盤繞，另一端形成一個(gè)所述電接入端；另一個(gè)螺旋盤的一端自所述圓環(huán)的第二端開始螺旋盤繞，另一端形成另一個(gè)所述電接入端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述導(dǎo)軌上還設(shè)有用于對(duì)所述滑動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)行程進(jìn)行限定的限位組件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述限位組件包括第一限位銷和第二限位銷，所述第一限位銷和所述第二限位銷間隔設(shè)置于所述導(dǎo)軌上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件，其特征在于，

所述限位組件還包括第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器與所述第一限位銷連接，所述第二傳感器與所述第二限位銷連接。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的單晶爐熱場(chǎng)加熱器組件。