[發明專利]一種芯片封裝機構制備方法以及芯片封裝機構在審
| 申請號: | 202010418121.3 | 申請日: | 2020-05-18 |
| 公開(公告)號: | CN111668119A | 公開(公告)日: | 2020-09-15 |
| 發明(設計)人: | 孫文檠 | 申請(專利權)人: | 馬鞍山芯海科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 鹽城平易安通知識產權代理事務所(普通合伙) 32448 | 代理人: | 陳彩芳 |
| 地址: | 243000 安徽省*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 封裝 機構 制備 方法 以及 | ||
1.一種芯片封裝機構,包括芯片(1),其特征在于:所述芯片(1)的底部設置有承載座(2),所述承載座(2)內腔的中部設置有密封環(3),所述承載座(2)頂部的左右兩側對稱開設有連通其頂部和底部的通孔(4),兩個所述通孔(4)內腔的底部對稱設置有螺紋套(5),所述芯片(1)頂部的左右兩側對稱設置有壓板(6),兩個所述壓板(6)底部相背的一側對稱固定連接有方柱(7),兩個所述壓板(6)頂部的一側對稱設置有固定螺栓(8),所述承載座(2)的底部設置有底座(9),所述底座(9)底部內壁的正中固定連接有密封盤(10),所述密封盤(10)左右兩側的頂部對稱設置有兩個固定鋼釬(11)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片封裝機構,其特征在于:所述芯片(1)的底部設置有若干針腳,所述承載座(2)的內腔由其頂部和底部與外界相連通,所述密封環(3)的正面、背面以及左右兩側貼合承載座(2)的內壁并與承載座(2)的內壁固定連接,所述密封環(3)的內圈連通其頂部和底部。
3.根據權利要求2所述的一種芯片封裝機構,其特征在于:所述芯片(1)底部的一端延伸至密封環(3)內圈的中部,芯片(1)的正面、背面以及左右兩側貼合密封環(3)內圈的壁體。
4.根據權利要求3所述的一種芯片封裝機構,其特征在于:所述螺紋套(5)的正面、背面以及左右兩側貼合通孔(4)的內壁并與通孔(4)的內壁固定連接,兩個所述壓板(6)相對的一端分別貼合芯片(1)頂部左右兩側的外壁,兩個所述方柱(7)底部的一端分別延伸至兩個通孔(4)內腔的底部并貼合通孔(4)的內壁,兩個所述固定螺栓(8)底部的一端依次貫穿壓板(6)、方柱(7)、螺紋套(5)并延伸至承載座(2)底部的外側,固定螺栓(8)與螺紋套(5)通過螺紋連接。
5.根據權利要求4所述的一種芯片封裝機構,其特征在于:所述底座(9)的內腔由其頂部與外界相連通,所述承載座(2)底部的一端由底座(9)頂部的開口延伸至底座(9)的內部并貼合底座(9)的內壁,所述固定鋼釬(11)靠近密封盤(10)的一端依次貫穿密封盤(10)、承載座(2)的外壁并延伸至承載座(2)壁體的內部,固定鋼釬(11)貼合密封盤(10)、承載座(2)的壁體。
6.根據權利要求5所述的一種芯片封裝機構,其特征在于:所述密封盤(10)頂部的一端由承載座(2)底部的開口延伸至承載座(2)的內部,密封盤(10)貼合承載座(2)的內壁,密封盤(10)頂部的外壁貼合密封環(3)底部的外壁,所述芯片(1)的針腳依次貫穿密封盤(10)、底座(9)并延伸至底座(9)底部的外側,針腳與密封盤(10)、底座(9)的壁體之間留有縫隙。
7.一種芯片封裝機構的制備方法,其特征在于:包括以下裝配步驟:
S1:將密封環(3)放置在承載座(2)內腔的中部,通過氬弧焊將密封環(3)焊接在承載座(2)的內壁上;
S2:將螺紋套(5)放置在通孔(4)的內部,螺紋套(5)與通孔(4)的內壁通過過盈連接;
S3:將芯片(1)放置在密封環(3)的內部,將承載座(2)放置在底座(9)的內部,通過密封盤(10)與密封環(3)的接觸,對承載座(2)進行支撐,密封環(3)內圈底部的內腔與密封盤(10)的頂部之間形成空腔;
S3:通過對底座(9)、承載座(2)的壁體內部打入固定鋼釬(11),完成底座(9)、承載座(2)的固定連接;
S4:旋轉固定螺栓(8),通孔(4)的壁體對方柱(7)進行角度限定,固定螺栓(8)與螺紋套(5)的螺紋交錯帶動壓板(6)移動,壓板(6)對芯片(1)進行固定。
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





