[發明專利]提高半導體測試系統產能的方法及半導體測試系統

有效

• 申請號: 202010416064.5
• 申請日: 2020-05-16
• 公開（公告）號: CN111564383B
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 李全任;毛國梁
• 申請（專利權）人: 南京宏泰半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01R31/28
• 代理公司: 南京北辰聯和知識產權代理有限公司 32350
• 代理人: 衛麟

1.一種提高半導體測試系統產能的方法，其特征在于，

設置主控平臺(1)分別與多個自動測試設備(2)建立通訊連接；設置所述主控平臺(1)還與單獨一個探針臺與機械手設備(3)建立通訊連接；設置各所述自動測試設備(2)分別與同一個半導體測試開發模塊(4)建立通訊連接之后，所述主控平臺(1)依次執行以下步驟：

第一步，分別獲取各所述自動測試設備(2)以及所述探針臺與機械手設備(3)的狀態信息；

第二步，在各所述自動測試設備(2)以及所述探針臺與機械手設備(3)的狀態信息正常時，向各所述自動測試設備(2)載入用戶信息和測試程序，設置各所述自動測試設備(2)處于測試等待狀態；

第三步，在所述探針臺與機械手設備(2)的狀態信息為已經驅動半導體被測件(5)到達設定位置時，分別根據測試開始信號驅動各所述自動測試設備(2)通過半導體測試開發模塊(4)對該半導體測試開發模塊(4)所連接的半導體被測件(5)進行測試，然后在各所述自動測試設備(2)完成測試后獲取各自動測試設備(2)的測試結果；

第四步，對各所述自動測試設備(2)完成測試所獲得的測試結果進行整合處理，并向探針臺與機械手設備(3)發送整合信號，驅動所述探針臺與機械手設備(3)重復上一步驟進行下一次整體測試；

第五步，在接收到探針臺與機械手設備(3)所發送的全部整體測試全部結束的信號后，輸出結束測試信號至各自動測試設備(2)，保存測試結果的相應測試數據。

2.如權利要求1所述的一種提高半導體測試系統產能的方法，其特征在于，所述設置主控平臺(1)分別與多個自動測試設備(2)建立通訊連接的具體步驟包括：

首先將自動測試設備(2)與主控平臺(1)通過網絡或USB連接通訊；

然后確定自動測試設備(2)與主控平臺(1)雙方通訊協議及相對應的查詢指令；

所述主控平臺(1)能夠通過查詢指令獲取與該查詢指令相對應的自動測試設備(2)的狀態信息和/或測試結果。

3.如權利要求2所述的一種提高半導體測試系統產能的方法，其特征在于，第一步中，所述主控平臺還在分別獲取各所述自動測試設備(2)以及所述探針臺與機械手設備(3)的狀態信息時，通過各所述自動測試設備(2)獲取并校驗所述半導體測試開發模塊(4)的識別碼；

第二步中，所述主控平臺(1)在向各所述自動測試設備(2)載入用戶信息和測試程序，設置各所述自動測試設備(2)處于測試等待狀態之前，還校驗所述半導體測試開發模塊(4)的識別碼是否正確，所述主控平臺(1)在所述識別碼正確時向各所述自動測試設備(2)載入用戶信息和測試程序，設置各所述自動測試設備(2)處于測試等待狀態。

4.如權利要求3所述的一種提高半導體測試系統產能的方法，其特征在于，第二步中，所述主控平臺(1)在各所述自動測試設備(2)以及所述探針臺與機械手設備(3)的狀態信息正常且識別碼正確時，具體按照以下步驟向各所述自動測試設備(2)載入用戶信息和測試程序，設置各所述自動測試設備(2)處于測試等待狀態：

通過所述主控平臺發送用戶信息和測試程序至所述自動測試設備，并由所述自動測試設備接收所述用戶信息和所述測試程序后進行所述用戶信息的保存和所述測試程序的載入，相應設置各自動測試設備的配置參數，設置各所述自動測試設備(2)處于測試等待狀態；

其中，所述用戶信息包括操作人員信息、生成批號、對應測試工具編號；

所述測試程序中定義有測試步驟的執行順序。

5.如權利要求4所述的一種提高半導體測試系統產能的方法，其特征在于，第三步中，獲得所述開始信號的具體步驟包括：

利用所述主控平臺查詢所述探針臺與機械手設備的狀態信息，在所述探針臺與機械手設備達到設定狀態時，產生測試開始信號。