[發明專利]用于確定電路版圖約束條件的方法、設備和存儲介質

在審

• 申請號: 202010415334.0
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111611766A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 全芯智造技術有限公司
• 主分類號: G06F30/398
• 分類號: G06F30/398;G06F111/04
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種確定電路版圖約束條件的方法，包括：

標識參考電路版圖中的多個邊界元素，邊界元素表示所述參考電路版圖中的相應參考幾何圖形的邊界的至少一部分；

基于所述多個邊界元素在所述參考電路版圖中的位置，確定所述多個邊界元素彼此之間的距離；以及

基于確定的所述距離，確定與待檢查的電路版圖中的至少一個幾何圖形的尺寸和/或位置相關的約束條件，以用于檢查所述待檢查的電路版圖。

2.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述約束條件包括以下中的至少一項：

基于同一參考幾何圖形的邊界元素之間的距離，確定用于約束所述電路版圖中的單個幾何圖形的尺寸范圍，或

基于不同參考幾何圖形的邊界元素之間的距離，確定用于約束所述電路版圖中的不同幾何圖形的間距范圍。

3.根據權利要求2所述的方法，還包括：

用所述尺寸范圍或所述間距范圍中的至少一項，填充用于所述約束條件的文本模板中的相應字段；以及

將填充后的所述文本模板轉換為機器可執行指令，以用于執行所述待檢查的電路版圖的檢查。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個邊界元素包括以下至少一項：

長軸在所述參考電路版圖的水平方向上的長方形的長邊，

長軸在所述水平方向上的長方形的短邊，

長軸在所述參考電路版圖的豎直方向上的長方形的長邊，或

長軸在所述豎直方向上的長方形的短邊。

5.根據權利要求1所述的方法，其中確定所述約束條件包括：

獲取數據處理模型，所述數據處理模型用于從多個邊界元素彼此之間的距離中得出至少一個數值范圍；以及

基于所確定的所述距離和所述多個邊界元素的標識信息，根據所述數據處理模型確定以下至少一項：用于約束所述電路版圖中的單個幾何圖形的尺寸范圍，或用于約束所述電路版圖中的不同幾何圖形的間距范圍。

6.根據權利要求1至5中的任一項所述的方法，還包括：

使用所述約束條件來檢查所述待檢查的電路版圖，以確定所述待檢查的電路版圖中不滿足所述約束條件的錯誤的第一數目；

使用目標約束條件來檢查所述待檢查的電路版圖，以確定所述待檢查的電路版圖中不滿足所述目標約束條件的錯誤的第二數目，所述目標約束條件也與所述待檢查的電路版圖中的至少一個幾何圖形的尺寸和/或位置相關；以及

響應于所述第一數目與所述第二數目之差大于閾值，確定所述目標約束條件不適用于所述待檢查的電路版圖。

7.根據權利要求1至5中的任一項所述的方法，還包括：

確定所述參考電路版圖中與圖案化錯誤相對應的位置，所述圖案化錯誤由所述參考電路版圖的拆解引起；以及

基于確定的所述位置來更新所述約束條件，以使得更新后的所述約束條件將所述位置處的幾何圖形狀態標識為錯誤。

8.一種電子設備，包括：

處理器；以及

與所述處理器耦合的存儲器，所述存儲器具有存儲于其中的指令，所述指令在被處理器執行時使所述設備執行動作，所述動作包括：：

標識參考電路版圖中的多個邊界元素，邊界元素表示所述參考電路版圖中的相應參考幾何圖形的邊界的至少一部分；

基于所述多個邊界元素在所述參考電路版圖中的位置，確定所述多個邊界元素彼此之間的距離；以及

基于確定的所述距離，確定與待檢查的電路版圖中的至少一個幾何圖形的尺寸和/或位置相關的約束條件，以用于檢查所述待檢查的電路版圖。

9.根據權利要求8所述的設備，其中確定所述約束條件包括以下中的至少一項：

基于同一參考幾何圖形的邊界元素之間的距離，確定用于約束所述電路版圖中的單個幾何圖形的尺寸范圍，或

基于不同參考幾何圖形的邊界元素之間的距離，確定用于約束所述電路版圖中的不同幾何圖形的間距范圍。