[發明專利]一種多光束加工裝置及加工方法

在審

• 申請號: 202010413319.2
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111515526A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 敖薈蘭;高壘;李紅利;陳金祥;陳伯平;張芙蓉;賴學志;鄒勝;李彬
• 申請（專利權）人: 廣東正業科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/046
• 分類號: B23K26/046;B23K26/06;B23K26/064
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱

1.一種多光束加工裝置，用于多層材料的加工，包括控制系統，其特征在于，還包括：

與所述控制系統連接的脈沖激光器，用于產生脈沖激光束，所述脈沖激光束包括第一脈沖激光束及第二脈沖激光束；

合束器，設置在所述脈沖激光器的出光路徑上，用于將所述第一脈沖激光束與所述第二脈沖激光束引導至相同的光路徑上。

2.如權利要求1所述的多光束加工裝置，其特征在于，所述脈沖激光器包括第一脈沖激光器、第二脈沖激光器，在所述第一脈沖激光器與所述合束器之間的所述出光路徑上，依次設置有第一光束準直器及第一反射鏡，在所述第二脈沖激光器與所述合束器之間的所述出光路徑上設置有第二光束準直器。

3.如權利要求2所述的多光束加工裝置，其特征在于，還包括：

激光加工部，與所述控制系統連接，用于將經過所述合束器的脈沖激光束引導至多層材料上的待加工位置。

4.如權利要求2所述的多光束加工裝置，其特征在于，還包括與所述控制器連接的樣品臺，所述樣品臺用于放置多層材料。

5.如權利要求4所述的多光束加工裝置，其特征在于，所述控制系統包括，第一控制器及與所述第一控制器通信連接的第二控制器，所述第一控制器分別與所述脈沖激光器及所述激光加工部連接；所述第二控制器分別與所述激光加工部及所述樣品臺連接，用于控制所述激光加工部在豎直方向上的運動及控制所述樣品臺在水平方向上的運動。

6.如權利要求3所述的多光束加工裝置，其特征在于，所述合束器與所述激光加工部之間還設置有多個反射鏡，用于將通過所述合束器的脈沖激光束引導至所述激光加工部。

7.一種多光束加工方法，其特征在于，包括：

控制脈沖激光器產生第一脈沖激光束和第二脈沖激光束，將所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束引導至多層材料的待加工位置；

利用所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束中的一個脈沖激光束，對所述多層材料的第一部分進行加工；

再利用所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束中的另一個脈沖激光束，對所述多層材料的第二部分進行加工。

8.如權利要求7所述的多光束加工方法，其特征在于，所述將所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束引導至多層材料的待加工位置，包括：

將所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束引導至激光加工部，由所述激光加工部將經過合束器的脈沖激光束引導至多層材料的待加工位置。

9.如權利要求8所述的多光束加工方法，其特征在于，第一脈沖激光束的波長與所述第二脈沖激光束的波長相同。

10.如權利要求9所述的多光束加工方法，其特征在于，所述第二脈沖激光光束的對焦高度與所述第一脈沖激光束的對焦高度不同。