[發明專利]異常檢測裝置以及異常檢測方法

在審

• 申請號: 202010412086.4
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111941282A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 秋山秀
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: B24B49/00
• 分類號: B24B49/00;B24B7/24;G01N29/14
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王培超;張青

1.一種異常檢測裝置，其特征在于，具備：

AE傳感器，其設置于對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺，并經由介于與所述被加工物之間的液體來檢測來自所述被加工物的彈性波；和

異常檢測部，其基于來自所述AE傳感器的檢測信號，來判定所述被加工物有無異常，

所述AE傳感器配置在所述加工臺中的所述被加工物的載置位置的正下方。

2.根據權利要求1所述的異常檢測裝置，其特征在于，

所述AE傳感器檢測來自由玻璃板構成的所述被加工物的彈性波。

3.根據權利要求2所述的異常檢測裝置，其特征在于，

在所述加工臺的上表面設置有拋光板，所述玻璃板被按壓于所述拋光板并相對移動，由此對所述玻璃板進行拋光，

在所述拋光板具有與所述AE傳感器和所述玻璃板連通的漿液流入孔，

所述AE傳感器經由向所述拋光板與所述玻璃板之間供給并流入到所述漿液流入孔的漿液來檢測來自所述玻璃板的彈性波。

4.根據權利要求3所述的異常檢測裝置，其特征在于，

所述拋光板由在面方向被分割的多個分割板構成，

所述AE傳感器配置在至少一個所述分割板的下方。

5.一種異常檢測方法，其特征在于，

在對載置于上部的被加工物進行加工的加工臺設置AE傳感器，該AE傳感器經由介于與所述被加工物之間的液體來檢測來自所述被加工物的彈性波，

基于來自所述AE傳感器的檢測信號，來判定所述被加工物有無異常，

將所述AE傳感器配置在所述加工臺中的所述被加工物的載置位置的正下方。

6.根據權利要求5所述的異常檢測方法，其特征在于，

利用所述AE傳感器檢測來自由玻璃板構成的所述被加工物的彈性波。

7.根據權利要求6所述的異常檢測方法，其特征在于，

在所述加工臺的上表面設置拋光板，所述玻璃板被按壓于所述拋光板并相對移動，由此對所述玻璃板進行拋光，

在所述拋光板形成與所述AE傳感器和所述玻璃板連通的漿液流入孔，

利用所述AE傳感器經由向所述拋光板與所述玻璃板之間供給并流入到所述漿液流入孔的漿液來檢測來自所述玻璃板的彈性波。

8.根據權利要求7所述的異常檢測方法，其特征在于，

作為所述拋光板，使用由在面方向被分割的多個分割板構成的拋光板，

在至少一個所述分割板的下方配置所述AE傳感器。