[發明專利]一種硅片稱重機構、稱重裝置及在線稱重方法

在審

• 申請號: 202010411191.6
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111584384A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 夏偉;陸瑜
• 申請（專利權）人: 蘇州邁為科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677;G01G13/24;G01G13/00
• 代理公司: 江蘇瑞途律師事務所 32346
• 代理人: 王珒

1.一種硅片稱重機構，包括稱重件(340)，以及能夠將硅片(500)放置在所述稱重件(340)上的第一輸送機構(330)；其特征在于：還包括殼體(301)，所述稱重件(340)和第一輸送機構(330)設置在所述殼體(301)內；所述殼體(301)上設有供所述硅片(500)進出于所述殼體(301)的缺口(303)，以及能夠遮蓋所述缺口(303)的擋板(320)，所述第一輸送機構(330)與所述擋板(320)可傳動地連接。

2.根據權利要求1所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述第一輸送機構(330)通過升降的方式驅使所述擋板(320)相對于所述缺口(303)滑動。

3.根據權利要求2所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述第一輸送機構(330)包括安裝座(335)，以及用于驅使所述安裝座(335)沿第一方向升降的第一頂升件(332)；所述擋板(320)通過聯動帶(322)與所述安裝座(335)連接。

4.根據權利要求3所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述殼體(301)上設有導軌(321)，所述導軌(321)沿第一方向設置，所述擋板(320)通過滑塊滑動連接在所述導軌(321)上。

5.根據權利要求4所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述導軌(321)上設有彈性件，所述彈性件用于對所述滑塊進行復位。

6.根據權利要求3～5中任一項所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述安裝座(335)上設置有第一傳送帶(331)，以及用于驅使所述第一傳送帶(331)運轉的第一驅動電機(334)，所述第一傳送帶(331)沿第二方向設置。

7.根據權利要求1所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述殼體(301)的外側壁上設有調整機構(310)，所述調整機構(310)用于調節載有所述硅片(500)的硅片載具(400)的角度和位置。

8.根據權利要求7所述的一種硅片稱重機構，其特征在于：所述調整機構(310)包括兩個夾片固定座(311)，以及驅使兩個所述夾片固定座(311)相互靠近的夾片氣缸(312)；所述夾片固定座(311)的位置與所述缺口(303)位置相對應。

9.一種硅片稱重裝置，包括輸送機構(200)和稱重機構(300)，所述輸送機構(200)包括沿第三方向設置的第二輸送機構(220)，以及沿第二方向設置的第三輸送機構(230)，所述第二輸送機構(220)上運送有硅片載具(400)，所述硅片載具(400)載有硅片(500)；其特征在于：所述稱重機構(300)為權利要求1～8中任一項所述的稱重機構，所述第三輸送機構(230)能夠沿第一方向運動，以將所述硅片載具(400)運送至所述缺口(303)處。

10.根據權利要求9所述的一種硅片稱重裝置，其特征在于：所述第二輸送機構(220)的第二傳送帶(221)形成有避讓口(224)，所述第三輸送機構(230)的第三傳送帶(231)至少有一部分能夠處在所述避讓口(224)之內。

11.一種利用權利要求9或10所述的稱重裝置進行硅片在線稱重的方法，其特征在于：稱重前后，用于運送硅片(500)的第一輸送機構(330)帶動設置在殼體(301)上的擋板(320)同步運動，以控制所述殼體(301)上供所述硅片(500)進出的缺口(303)的打開/關閉。