[發明專利]一種功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統

有效

• 申請號: 202010411179.5
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111562479B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 吳濤;孫鵬;張浩然;趙志斌;崔翔
• 申請（專利權）人: 華北電力大學
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 杜陽陽

1.一種功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述系統包括：柔性印刷線路板、雙脈沖測試平臺和溫控裝置，所述溫控裝置用于為功率半導體器件提供高低溫環境，所述柔性印刷線路板的一端為功率半導體器件連接端，另一端為所述雙脈沖測試平臺連接端，所述功率半導體器件連接端包括第一連接端口(14)、第二連接端口(13)和第三連接端口(12)，所述第三連接端口(12)為功率半導體器件公共極連接端口，所述雙脈沖測試平臺連接端包括第四連接端口(10)、第五連接端口(9)和第六連接端口(8)，從所述第一連接端口(14)引出的第一連接線(3)與所述第四連接端口(10)相連，從所述第二連接端口(13)引出的第二連接線(2)與所述第五連接端口(9)相連，從所述第三連接端口(12)引出的第三連接線(1)與所述第六連接端口(8)相連，所述第一連接線(3)和所述第二連接線(2)平行疊層排布且具有第一疊層間距；

所述雙脈沖測試平臺連接端設置有第一測量端子(17)、第二測量端子(16)和第三測量端子(15)，從所述第一連接端口(14)引出的第四連接線(7)與所述第一測量端子(17)相連，從所述第二連接端口(13)引出的第五連接線(6)與所述第二測量端子(16)相連，從所述第三連接端口(12)引出的第六連接線(5)與所述第三測量端子(15)相連，所述第四連接線(7)和所述第五連接線(6)平行疊層排布且具有第二疊層間距；

所述第一連接線(3)、所述第二連接線(2)、所述第三連接線(1)、所述第四連接線(7)、所述第五連接線(6)和所述第六連接線(5)均布設在所述柔性印刷線路板上；

所述雙脈沖測試平臺連接端還包括第七連接端口(11)，所述第一連接端口(14)引出的第七連接線(4)與所述第七連接端口(11)相連，所述第七連接線(4)為輔助源極連接線或輔助發射極連接線，所述第七連接線(4)布設在所述柔性印刷線路板上。

2.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述第一連接端口(14)與所述第一連接端子(17)之間、所述第二連接端口(13)與所述第二連接端子(16)之間和所述第三連接端口(12)與所述第三連接端子(15)之間均采用開爾文接法。

3.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述柔性印刷線路板通過聚酰亞胺材料和銅箔壓合而成。

4.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述系統還包括連接件和夾具，所述連接件用來將功率半導體器件連接到所述柔性印刷線路板的所述功率半導體器件連接端，所述夾具用來固定所述柔性印刷線路板和功率半導體器件。

5.根據權利要求4所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述連接件為陶瓷插座。

6.根據權利要求5所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述夾具為螺栓，所述功率半導體器件連接端和所述陶瓷插座上均設有螺栓通孔。

7.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述第四連接端口(10)、所述第五連接端口(9)和所述第六連接端口(8)分別為焊盤。

8.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述第一連接端口(14)、所述第二連接端口(13)和所述第三連接端口(12)分別為條形金屬，所述條形金屬表面覆銅。

9.根據權利要求1所述的功率半導體器件的高低溫動態特性遠程測試系統，其特征在于，所述第一測量端子(17)、所述第二測量端子(16)和所述第三測量端子(15)與示波器相連。