[發(fā)明專利]用于石英晶體諧振器溫度計的石英晶體板及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010411110.2
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111693171A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王少云;王驥;張良夢;謝龍濤;張陽陽;馬廷鋒;杜建科;趙岷江
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波大學(xué)
• 主分類號: G01K7/32
• 分類號: G01K7/32;B28D5/02;B28D5/04;B24B1/00;H03H3/04;C03B33/04;C03B33/07
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33226
• 代理人: 程曉明

1.一種用于石英晶體諧振器溫度計的石英晶體板，其切型表示為(yxwl)φ_l/θ_l，其中：y表示初始板的厚度方向平行y軸，x表示初始板的長度方向平行于x軸，w表示繞著板寬度軸逆時針旋轉(zhuǎn)φ_l角度，得到第一次旋轉(zhuǎn)后的板，l表示再繞著第一次旋轉(zhuǎn)后的板的長度方向逆時針旋轉(zhuǎn)θ_l的角度，得到第二次旋轉(zhuǎn)后的板，其特征在于：14.7°φ_l17.8°，5.6°θ_l11.5°。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于石英晶體諧振器溫度計的石英晶體板，其特征在于：φ_l＝17.69°，θ_l＝11.33°。

3.權(quán)利要求1所述的石英晶體板的制作方法，其特征在于具體包括以下步驟：

首先生長一塊人工石英晶體，并建立三維坐標系，定義原始板的的長度方向為x，厚度方向為y，寬度方向為z，按照先繞著z軸逆時針旋轉(zhuǎn)φ_l角度，再繞著第一次旋轉(zhuǎn)后的板的長度方向逆時針旋轉(zhuǎn)θ_l的角度的方式旋轉(zhuǎn)刀具，然后進行切割，獲得切型為(yxwl)φ_l/θ_l的石英晶體板；

隨后將切割后的晶體板放入頻率研磨機，配合研磨砂以及研磨液作業(yè)，獲得厚度符合要求的石英晶體板。

4.如權(quán)利要求3所述的石英晶體板的制作方法，其特征在于通過玻璃膠將研磨后的大晶片板進行粘合，使用線切割機對晶片長邊統(tǒng)一進行切割，長邊切割完成后使用研磨機進行研磨加工，以相同的方式加工得到晶片的短邊尺寸，最后通過加熱結(jié)合去膠劑使晶片脫膠，得到晶片幾何尺寸的三個重要參數(shù)長厚寬。

5.使用權(quán)利要求1所述的石英晶體板制作的諧振器。

6.使用權(quán)利要求5所述的諧振器制作的溫度計。