[發明專利]一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法

有效

• 申請號: 202010410016.5
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111530851B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 楊潤瀟;李帥;何偉
• 申請（專利權）人: 聚束科技（北京）有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B6/00;B08B7/00;H05F3/00;H01J37/26
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• 代理人: 暫無信息

1.一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，包括：倉體(21)、位于倉體(21)外部進樣口一側下方的送樣裝置(1)、位于進樣口外部上端水平設置的除靜電吹掃裝置(3)、位于倉體內部頂端的高壓電極(8)、位于倉體(21)外部出樣口一側的等離子清洗裝置(10)；還包含以下步驟：

步驟一：接通電源后，送樣裝置(1)開始向預抽室(2)送樣，除靜電吹掃裝置(3)上的排氣口(4)向下排出氣流，射至樣品(5)表面，氣流中的離子(6)與樣品表面吸附的微粒(7)所帶電荷發生中和，使微粒失去靜電吸引力后被所述氣流帶走，以及所述預抽室(2)內的高壓電極(8)啟動，產生一個高壓靜電場，部分微粒(7)在高壓靜電場的作用下發生靜電感應作用吸到所述高壓電極(8)上，所述送樣裝置(1)將樣品(5)完全送入所述預抽室(2)后，所述除靜電吹掃裝置(3)停止吹掃，所述預抽室(2)的倉門關閉，所述高壓電極(8)保持一個恒定電壓；

步驟二：啟動抽真空裝置(9)將所述預抽室(2)抽真空，當所述預抽室(2)內的大氣壓達到一個預定值之后，所述等離子清洗裝置(10)開始向所述預抽室(2)注入等離子氣體，與樣品表面的有機物分子發生活化反應，生成氣體分子，被所述抽真空裝置(9)帶走，以及逐漸調低所述高壓電極(8)上的電壓值至0，使吸附在電極上的微粒下落被所述抽真空裝置(9)帶走，所述等離子清洗裝置(10)持續工作一定時間后停止；

步驟三：同時，逐漸調高所述高壓電極(8)上的電壓，所述送樣裝置(1)將樣品(5)從所述預抽室(2)送至主抽室后，關閉所述高壓電極(8)，完成除污過程；

其特征在于，所述除靜電吹掃裝置(3)的下端設有多個排氣口(4)，且所述排氣口(4)排出的氣流為交變氣流，氣流中交替帶有正離子、負離子。

2.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述除靜電吹掃裝置(3)的排氣口(4)距離樣品(5)表面的垂直距離為50-100mm。

3.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述除靜電吹掃裝置(3)上的電壓為5-10KV的交變電壓，頻率10-80Hz。

4.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述除靜電吹掃裝置(3)的供氣氣壓為2-5個大氣壓。

5.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述預抽室(2)內的大氣壓等于或低于10^-4Torr時，所述等離子清洗裝置(10)啟動，向預抽室注入等離子氣體。

6.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述等離子清洗裝置(10)的工作時長為1-3分鐘。

7.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述等離子清洗裝置(10)工作時的壓強為10^-3Torr至10^-1Torr。

8.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述送樣裝置(1)將樣品(5)由所述預抽室(2)送至主抽室的過程中，所述高壓電極(8)上的電壓為5-25kv，且所述高壓電極(8)的形狀為一個環狀矩形。

9.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述排氣口(4)的口內設有針狀體尖端(11)，所述針狀體尖端(11)通交變高壓后，因電暈放電可以使附近的空氣分子解離，間歇生成帶有正、負電荷的離子。

10.如權利要求1所述的一種粒子束顯微鏡的樣品除污方法，其特征在于，所述排氣口(4)下端口距離樣品(5)表面的垂直距離為50mm-100mm。