[發明專利]MEMS麥克風的修調裝置及其修調方法

有效

• 申請號: 202010399093.5
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN111510844B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 劉宏志
• 申請（專利權）人: 無錫韋爾半導體有限公司
• 主分類號: H04R29/00
• 分類號: H04R29/00;H04R19/00;H04R19/04
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;楊思雨

1.一種MEMS麥克風的修調方法，其特征在于，包括：

根據所述MEMS麥克風提供的第一輸出信號獲得所述MEMS麥克風的初始靈敏度；

根據所述初始靈敏度選擇相匹配的第一數據；以及

將所述第一數據燒錄至所述MEMS麥克風的ASIC芯片中，在向所述ASIC芯片燒錄所述第一數據前，所述ASIC芯片中的第一數據內容為空，

其中，所述MEMS麥克風的增益值被所述第一數據配置，以便于所述MEMS麥克風的靈敏度被配置于預設范圍內。

2.根據權利要求1所述的修調方法，其特征在于，還包括：

將第二數據燒錄至所述MEMS麥克風，所述MEMS麥克風的偏置電壓被所述第二數據配置；

根據所述MEMS麥克風提供的第二輸出信號獲得修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度；以及

根據修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度對所述MEMS麥克風進行分選，

其中，所述MEMS麥克風根據所述偏置電壓和所述增益值提供所述第二輸出信號。

3.根據權利要求2所述的修調方法，其特征在于，所述預設范圍包括多個預設區間，根據修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度對所述MEMS麥克風進行分選的步驟包括：根據所述修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度對應的所述預設區間對所述MEMS麥克風進行分選。

4.根據權利要求1至3任一所述的修調方法，其特征在于，還包括獲得所述MEMS麥克風的增益值與所述第一數據的對照表，根據所述初始靈敏度選擇相匹配的第一數據的步驟包括：

根據所述初始靈敏度分別與所述對照表中的每個增益值之和獲得多個理論靈敏度；以及

計算每個所述理論靈敏度與目標靈敏度的差值，以便于判斷出最接近所述目標靈敏度的所述理論靈敏度，并選擇該理論靈敏度對應的所述第一數據，

其中，所述目標靈敏度位于所述預設范圍之內。

5.根據權利要求1至3任一所述的修調方法，其特征在于，還包括：

獲得所述MEMS麥克風的增益值與所述第一數據的對照表；以及獲得所述MEMS麥克風的初始增益值，根據所述初始靈敏度選擇相匹配的第一數據的步驟包括：

計算所述初始靈敏度與所述初始增益值之差，以便于獲得初始增益歸零后的所述初始靈敏度；

根據初始增益歸零后的所述初始靈敏度分別與所述對照表中的每個增益值之和獲得多個理論靈敏度；以及

計算每個所述理論靈敏度與目標靈敏度的差值，以便于判斷出最接近所述目標靈敏度的所述理論靈敏度，并選擇該理論靈敏度對應的所述第一數據，

其中，所述目標靈敏度位于所述預設范圍之內。

6.一種MEMS麥克風的修調裝置，其特征在于，包括：

測試模塊，用于根據所述MEMS麥克風提供的第一輸出信號獲得所述MEMS麥克風的初始靈敏度；

控制模塊，用于根據所述初始靈敏度選擇相匹配的第一數據，并將所述第一數據燒錄至所述MEMS麥克風的ASIC芯片中，在向所述ASIC芯片燒錄所述第一數據前，所述ASIC芯片中的第一數據內容為空，

其中，所述MEMS麥克風的增益值被所述第一數據配置，以便于所述MEMS麥克風的靈敏度被配置于預設范圍內。

7.根據權利要求6所述的修調裝置，其特征在于，還包括分選模塊，用于根據修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度對所述MEMS麥克風進行分選，

其中，所述控制模塊還用于將第二數據燒錄至所述MEMS麥克風，所述MEMS麥克風的偏置電壓被所述第二數據配置，所述MEMS麥克風根據所述偏置電壓和所述增益值提供第二輸出信號；所述測試模塊還用于根據所述MEMS麥克風提供的所述第二輸出信號獲得修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度。

8.根據權利要求7所述的修調裝置，其特征在于，所述預設范圍包括多個預設區間，所述控制模塊還用于根據修調后的所述MEMS麥克風的靈敏度對應的所述預設區間產生相應分選信號并發送至所述分選模塊。