[發明專利]晶圓舟操作裝置、立式分批爐和方法

在審

• 申請號: 202010398412.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN111952228A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: C·G·M·德里德;T·G·M·奧斯特拉肯
• 申請（專利權）人: ASMIP控股有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 丁曉峰

1.一種晶圓舟操作裝置(10)，所述晶圓舟操作裝置配置成定位在立式分批爐的處理室(56)下方，其中，所述晶圓舟操作裝置(10)包括：

●可旋轉臺(16)，所述可旋轉臺僅具有第一晶圓舟支承表面(18)和第二晶圓舟支承表面(20)，每個晶圓舟支承表面配置成支承配置成容納多個晶圓的晶圓舟(12、14)，其中，所述可旋轉臺(16)能通過致動器繞基本豎直的中心軸線(22)旋轉，以將所述第一晶圓舟支承表面(18)和所述第二晶圓舟支承表面(20)旋轉至：

○裝載/接收位置(24)，在所述裝載/接收位置，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成將晶圓舟(12、14)從所述可旋轉臺豎直地裝載到所述處理室(56)中，并且將所述晶圓舟(12、14)從所述處理室(56)接收到所述可旋轉臺(16)上；

○冷卻位置(26)，在所述冷卻位置，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成冷卻晶圓舟(12、14)；以及

○轉移位置(28)，在所述轉移位置，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成允許晶圓移至和/或移離所述晶圓舟(12、14)。

2.根據權利要求1所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成使得，當來自所述第一晶圓舟支承表面(18)的晶圓舟(12、14)已被裝載至所述處理室(56)中時，所述可旋轉臺(16)的所述第二晶圓舟支承面(20)能通過所述致動器從所述冷卻位置(26)旋轉至所述轉移位置(28)。

3.根據權利要求1或2所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，所述可旋轉臺(16)將所述晶圓舟支承表面(18、20)從所述冷卻位置(26)旋轉至所述轉移位置(28)的旋轉角度足以防止熱量從處于所述冷卻位置(26)的晶圓舟(12、14)傳遞至所述晶圓舟操作裝置(10)的周向壁(32)與所述轉移位置(28)相鄰的一部分，以至于保持所述周向壁(32)與所述轉移位置(28)相鄰的部分的溫度低于70℃、優選低于50℃。

4.根據權利要求1或2所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，使所述晶圓舟支承表面(18、20)從所述冷卻位置(26)旋轉至所述轉移位置(28)的所述可旋轉臺(16)的旋轉角度在1°至80°之間，優選地在40°至50°之間，更優選地大致為45°。

5.根據前述權利要求中任一權利要求所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成使得當所述第一晶圓舟支承表面(18)處于所述裝載/接收位置(24)時，所述第二晶圓舟支承表面(20)處于所述冷卻位置(26)。

6.根據權利要求5所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，所述晶圓操作裝置配置有所述旋轉臺(16)，并且所述晶圓舟支承表面(18、20)能從所述裝載/接收位置(24)至所述冷卻位置(26)旋轉通過在120°至240°之間、優選在170°至190°之間、更優選大致為180°的旋轉角度。

7.根據前述權利要求中任一權利要求所述的晶圓舟操作裝置，其特征在于，所述晶圓舟操作裝置(10)配置成隨后：

●將第一晶圓舟(12)從處于所述裝載/接收位置(24)的所述第一晶圓舟支承表面(18)豎直地裝載到所述處理室(56)中；

●冷卻處于所述冷卻位置(26)的第二晶圓舟支承表面(20)上的第二晶圓舟(14)；

●將所述可旋轉臺(16)旋轉至所述第二晶圓舟支承表面(20)處于所述轉移位置(28)的旋轉位置；

●將晶圓移至和/或移離所述第二晶圓舟(14)；

●將所述可旋轉臺(16)旋轉至所述第一晶圓舟支承表面(18)處于所述裝載/接收位置(24)的旋轉位置；

●在所述第一晶圓舟支承表面(18)上從所述處理室(56)接收所述第一晶圓舟(12)；以及

●將所述可旋轉臺旋轉至所述第二晶圓舟支承表面(20)處于所述裝載/接收位置(24)的旋轉位置。