[發明專利]一種適用于發熱涂層材料歐姆電極的制作方法

有效

• 申請號: 202010397246.2
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN111599669B
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發明（設計）人: 吳慎將;薛嘉隆;程軍霞;周文炳;李黨娟;張文斌;蘇俊宏
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: H01L21/288
• 分類號: H01L21/288;H01L21/28
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種適用于發熱涂層材料歐姆電極的制作方法，其特征在于：步驟為：

1）首先是對玻璃(SiO₂)或者陶瓷（Al₂O₃）基底進行處理，使用低溫等離子體發生器，在真空條件下，對基底表面上需要制作歐姆電極的位置進行低溫等離子體轟擊，形成可控直徑、可控排列方式的微孔陣列；

2）對整個基底進行超聲清洗10min，清洗結束后用氮氣吹干；采用噴涂法或絲網印刷的方法，均勻涂上碳漿材料，使碳漿材料與基底充分接觸，在真空條件下，在20℃-300℃，按10min上升20℃的形式進行梯度加熱，形成穩定的碳基發熱涂層；

3）對已經烘干的碳涂層材料，在其電極制作區域，先均勻涂上一層99.99%的高純導電銀漿；將多芯銅絲附著在制作歐姆電極區域的小孔陣列區域內；再涂上一層導電銀漿后，整體放入真空室內，在20℃-300℃，按10min上升20℃的形式進行梯度加熱，即可。

2.根據權利要求1所述的一種適用于發熱涂層材料歐姆電極的制作方法，其特征在于：所述的步驟1）低溫等離子體發生器為感應耦合等離子體系統，在待處理的基底位置放置超微孔陣列的金屬板，其轟蝕氣體為Ar/SF6,Ar含量為20%；轟擊條件為：ICP功率為300-700w、RF功率為20-40w、反應壓強為0.4-1.6pa，轟擊時間為1 min；采用氮氣或者氦氣進行降溫，氦氣或者氮氣的流量為10-50ml/min，處理時間為20s至60s。

3.根據權利要求2所述的一種適用于發熱涂層材料歐姆電極的制作方法，其特征在于：所述的步驟1）低溫等離子體發生器為手持式等離子體發生器，其供應電源220-230V，最大輸入電流6A，功耗1300W，加工距離5-20mm。

4.根據權利要求2或3所述的一種適用于發熱涂層材料歐姆電極的制作方法，其特征在于：步驟2）中的碳漿材料的厚度為0.2mm-0.5mm；在真空環境下，分別在20℃至300℃，按20℃/10min溫度上升的形式進行梯度加熱。