[發明專利]擠壓裝置、光刻膠供應系統以及光刻膠供應方法

有效

• 申請號: 202010396944.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN113655691B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發明（設計）人: 李生驕;董佳仁
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B65D83/76;G01D21/02
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本發明實施例提供一種擠壓裝置、光刻膠供應系統以及光刻膠供應方法，擠壓裝置包括：底座，底座用于承載放置光刻膠瓶；支撐軌道，支撐軌道豎直設置在底座上；擠壓結構，擠壓結構的端部可移動的設置在支撐軌道上，以使擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向上下移動；驅動模塊，驅動模塊用于驅動擠壓結構以使擠壓結構發生形變，使擠壓結構圍成的區域面積減小，且還用于驅動發生形變后的擠壓結構以使擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向上下移動。通過擠壓裝置擠壓光刻膠瓶，從而提高光刻膠瓶中光刻膠的利用率。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種擠壓裝置、光刻膠供應系統以及光刻膠供應方法。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。通常的，光刻膠置于光刻膠瓶內，通過氮氣向光刻膠瓶內施加壓力抽取光刻膠實現光刻膠的取用。采用這種取用手段，光刻膠的利用率較低。

為了提高光刻膠的使用率，會將光刻膠瓶傾斜放置，但光刻膠的殘留率依然較高。

發明內容

本發明實施例提供一種擠壓裝置、光刻膠供應系統以及光刻膠供應方法，通過擠壓裝置擠壓光刻膠瓶，從而提高光刻膠瓶中光刻膠的利用率。

為解決上述技術問題，本發明的實施例提供了一種擠壓裝置，包括：底座，底座用于承載放置光刻膠瓶；支撐軌道，支撐軌道豎直設置在底座上；擠壓結構，擠壓結構的端部可移動的設置在支撐軌道上，以使擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向上下移動；驅動模塊，驅動模塊用于驅動擠壓結構以使擠壓結構發生形變，使擠壓結構圍成的區域面積減小，且還用于驅動發生形變后的擠壓結構以使擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向上下移動。

相對于現有技術而言，通過驅動模塊驅動擠壓結構擠壓光刻膠瓶，使得光刻膠瓶在擠壓結構擠壓的水平面內，光刻膠瓶中的光刻膠的利用率較高；通過驅動模塊驅動擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向上下移動，以使擠壓結構可以擠壓光刻膠瓶的不同平面，以使光刻膠瓶整體中的光刻膠的利用率較高。

另外，支撐軌道包括第一軌道以及第二軌道；第一軌道與第二軌道豎直設置在底座上；擠壓結構的一端部可移動地設置在第一軌道上，擠壓結構的另一端部可移動地設置在第二軌道上；驅動模塊用于驅動第一軌道與第二軌道之間的擠壓結構，以使擠壓結構圍成的區域面積減小。通過第一軌道和第二軌道共同支撐擠壓結構，固定擠壓結構的兩個端部，以提高擠壓結構擠壓光刻膠瓶的效果。

另外，支撐軌道可移動的設置在底座上；驅動模塊用于驅動第一軌道與第二軌道之間的擠壓結構，包括：驅動模塊用于驅動支撐軌道沿水平方向移動以帶動擠壓結構以使擠壓結構發生形變，使擠壓結構圍成的區域面積減小。

另外，擠壓結構為封閉環形結構。

另外，還包括：固定單元，固定單元設置在底座上，用于固定放置在底座上的光刻膠瓶。通過固定單元固定光刻膠瓶，避免光刻膠瓶隨著擠壓結構的移動而移動，從而影響擠壓結構的擠壓效果。

另外，還包括：第一檢測模塊，用于檢測光刻膠瓶中光刻膠的液面高度，且第一檢測模塊與驅動模塊通信連接，驅動模塊基于檢測到的液面高度驅動發生形變后的擠壓結構向遠離底座的方向移動。通過第一檢測模塊，檢測光刻膠的液面高度，從而控制驅動模塊驅動擠壓結構，實現了擠壓過程的自動化。

另外，第一檢測模塊包括：第一感應單元，第一感應單元用于檢測液面高度是否低于第一預警高度，且驅動模塊與第一感應單元通信連接，當第一檢測模塊檢測到液面高度低于第一預警高度時，驅動模塊驅動發生形變后的擠壓結構，以使擠壓結構沿支撐軌道的軌道方向向遠離于底座的方向移動；第二感應單元，第二感應單元用于檢測液面高度是否低于第二預警高度，第二預警高度低于第一預警高度，且第二預警高度表示光刻膠耗盡時的液面高度。通過第二感應單元檢測光刻膠的液面高度，以知曉光刻膠瓶中的光刻膠的存量是否充足。