[發明專利]一種觸摸顯示屏及其制造方法有效
| 申請號: | 202010386747.0 | 申請日: | 2020-05-09 |
| 公開(公告)號: | CN111540773B | 公開(公告)日: | 2022-07-12 |
| 發明(設計)人: | 孫德瑞 | 申請(專利權)人: | 江西貴得科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L23/64;H01L27/12;G06F3/044 |
| 代理公司: | 南昌合達信知識產權代理事務所(普通合伙) 36142 | 代理人: | 毛毛 |
| 地址: | 337000 江西省萍鄉市萍鄉經濟技術開*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 觸摸 顯示屏 及其 制造 方法 | ||
本發明提供了一種觸摸顯示屏及其制造方法。本發明在薄膜晶體管上形成較厚的高K材料介電層,并在其中形成環形的電容結構(即第一電容結構)用以補償的觸摸電容(即第二電容結構),增強觸摸的靈敏度,并能夠保護所述觸摸電容的可靠性,減小像素單元和薄膜晶體管的按壓力。
技術領域
本發明涉及有機顯示技術領域,具體涉及一種觸摸顯示屏及其制造方法。
背景技術
隨著有機發光二極管(Organic Light-emitting Diode,OLED)面板因其廣色域、高對比度、大視角、反應速率快、輕薄等優勢,在手機、手表、Pad等應用領域越來越廣泛。
觸摸顯示屏是集成了顯示模塊和觸摸模塊的顯示面板結構,其中的電容式觸摸屏,需要在顯示屏中設置電容結構以用于響應觸摸操作,而現有的電容結構多為縱向排列的上下電極板,其設置于像素單元之間,無法提高該電容的電容值,觸摸不夠靈敏。
發明內容
基于解決上述問題,本發明提供了一種觸摸顯示屏,其包括:
襯底,具有相對的第一表面和第二表面;
薄膜晶體管層,形成于所述第一表面上;
層間介電層,覆蓋所述薄膜晶體管層,且所述層間介電層中具有第一電容結構,所述第一電容結構包括相對設置的第一電極和第二電極,且所述第一電極和第二電極均垂直于所述第一表面;所述層間介電層中還具有在所述第一電極和第二電極之間的凹槽;
平坦層,覆蓋所述層間介電層,且所述平坦層的至少一部分填充所述凹槽;
像素限定層,所述像素限定層中具有第二電容結構,所述第二電容結構包括相對設置的第三電極和第四電極,且所述第三電極和第四電極均平行于所述第一表面。
其中,在所述像素限定層中形成有多個像素定義孔,并在所述像素定義孔中形成多個像素單元,所述像素單元依次包括在所述平坦層第一表面上的底電極、在所述像素定義孔中的有機發光層以及覆蓋所述有機發光層的頂電極。
其中,所述第二電容結構環繞于所述像素限定層周圍。
其中,所述第一電極和第二電極的間距大致等于所述第三電極和第四電極的寬度,所述第一電容結構設置于所述第二電容結構的正下方,且俯視觀察時,所述第一電容結構為環形結構。
其中,所述第一電容結構與所述第二電容結構通過所述層間介電層和所述平坦層中的電路結構電連接。
本發明還提供了另一種觸摸顯示屏,其包括:
襯底,具有相對的第一表面和第二表面;
薄膜晶體管層,形成于所述襯底上;
層間介電層,覆蓋所述薄膜晶體管層,且所述層間介電層中具有第一電容結構,所述第一電容結構包括相對設置的第一電極和第二電極,且所述第一電極和第二電極均垂直于所述第一表面;所述層間介電層中還具有在所述第一電極和第二電極之間的凹槽;
插入結構,其部分地插入所述凹槽中且具有突出于所述層間介電層上表面的另一部分;
平坦層,覆蓋所述層間介電層和插入結構;
像素限定層,所述像素限定層中具有第二電容結構,所述第二電容結構包括相對設置的第三電極和第四電極,且所述第三電極和第四電極均平行于所述第一表面。
其中,在所述像素限定層中形成有多個像素定義孔,并在所述像素定義孔中形成多個像素單元,所述像素單元依次包括在所述平坦層第一表面上的底電極、在所述像素定義孔中的有機發光層以及覆蓋所述有機發光層的頂電極。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





