[發明專利]一種快速判斷并消除蝙蝠翼效應的微結構光學檢測方法有效
| 申請號： | 202010386720.1 | 申請日： | 2020-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN111521130B | 公開（公告）日： | 2022-02-18 |
| 發明（設計）人： | 高志山;施帥飛 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B9/02;G01B9/04 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快速 判斷 消除 蝙蝠 效應 微結構 光學 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種快速判斷并消除蝙蝠翼效應的微結構光學檢測方法，其特征在于，方法如下：
根據已知待測微結構的三維信息，分析不同干涉顯微物鏡的數值孔徑NA與臺階高度之間的關系，判斷上述關系是否同時滿足以下兩點：
1）探測盲區在極限分辨率內；
2）探測盲區在接收CCD上所占像素點不影響成像；
若不能同時滿足，則判斷在實際光學檢測中會出現蝙蝠翼效應；
若同時滿足，則判斷在實際光學檢測中不會出現蝙蝠翼效應。
2.根據權利要求1所述的快速判斷并消除蝙蝠翼效應的微結構光學檢測方法，其特征在于：待測微結構為光柵型結構。
3.根據權利要求1所述的快速判斷并消除蝙蝠翼效應的微結構光學檢測方法，其特征在于：待測微結構材質為非透明材質。
4.根據權利要求1所述的快速判斷并消除蝙蝠翼效應的微結構光學檢測方法，其特征在于：待測微結構為納米量級或微米量級。
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