[發明專利]一種孔的光學成像和掃描裝置

在審

• 申請號: 202010371391.3
• 申請日: 2020-05-06
• 公開（公告）號: CN111982010A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: S·可斯拉法尼
• 申請（專利權）人: 波音公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/08;G01B11/30;G01B11/00;G02B26/12;G06T3/00;G06T5/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 張穎

1.一種光學儀器(50)，其包括：

殼體(16a-c)；

設置在所述殼體的內部的光源(18)；

設置在所述殼體的內部的圖像傳感器(30)；

錐形鏡(8)，其設置在所述殼體的外部并且具有錐形軸線；

錐形鏡支撐結構(24，36)，其將所述錐形鏡支撐在相對于所述殼體的固定位置中；以及

光學子組件(12，14，20，22)，所述光學子組件由所述殼體支撐并配置為使得來自所述光源的光入射在所述錐形鏡上并被所述錐形鏡徑向向外反射，并且徑向向內傳播并入射到所述錐形鏡上的光被引導到所述圖像傳感器上。

2.根據權利要求1所述的光學儀器，其中所述錐形鏡具有幾何形狀，所述幾何形狀是通過圍繞所述錐形軸線旋轉一條線來定義的，所述線設置為相對于所述錐形軸線成等于45度的角。

3.根據權利要求1所述的光學儀器，其中：

所述錐形鏡支撐結構包括中心柱(24)；并且

所述錐形鏡被截頭并附連到所述中心柱的一端。

4.根據權利要求3所述的光學儀器，其中所述光學子組件包括沿與所述錐形軸線同軸的光學軸線設置的鏡子(22)和第一透鏡(12)和第二透鏡(32)以及設置在所述鏡子和所述光源之間的第三透鏡(20)，所述鏡子的尺寸使得從所述錐形鏡傳播到所述圖像傳感器的光穿過所述第一透鏡、圍繞所述鏡子并且穿過所述第二透鏡。

5.根據權利要求1所述的光學儀器，其中：

所述錐形鏡支撐結構包括具有柱形軸線的圓柱玻璃管(36)；以及

所述錐形鏡設置在所述圓柱玻璃管內，使得所述錐形軸線與所述柱形軸線同軸。

6.根據權利要求1所述的光學儀器，其中所述光學子組件包括分色鏡(14)和第一透鏡(12)、第二透鏡(20)和第三透鏡(32)，所述第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡被布置為使得從所述光源傳播到所述錐形鏡的光穿過所述第三透鏡(20)并且然后被所述分色鏡反射，并且從所述錐形鏡傳播到所述圖像傳感器的光穿過所述分色鏡，并且然后穿過所述第一透鏡(12)和第二透鏡(32)。

7.根據權利要求1所述的光學儀器，其中所述光學子組件包括分色鏡(14)和第一透鏡(12)、第二透鏡(20)和第三透鏡(32)，所述第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡被布置為使得從所述光源傳播到所述錐形鏡的光穿過所述第三透鏡(20)，并且然后穿過所述分色鏡，并且從所述錐形鏡傳播到所述圖像傳感器的光被所述分色鏡反射并穿過所述第一透鏡(12)和第二透鏡(32)。

8.根據權利要求1所述的光學儀器，還包括光圈板(40)，其中所述第三透鏡(20)設置在所述光圈板和所述光源之間。

9.一種包括根據權利要求1所述的光學儀器的用于成像基板(2)中的孔(6)的設備(130)，所述設備包括：

多行程探針放置頭(140)，其包括塊組件(132)、相對于所述塊組件沿著第一軸線可平移的第一行程(144)、相對于所述塊組件沿著與所述第一軸線正交的第二軸線可平移的第二行程(146)以及第三行程(142)，所述第三行程(142)相對于所述塊組件沿與所述第一軸線和第二軸線正交的第三軸線可平移，所述第三行程可平移地耦連到所述第二行程，并且所述第二行程可平移地耦連到所述第一行程；以及

由所述第三行程支撐并依賴于所述第三行程的所述光學儀器(50)。