[發明專利]一種基于手性微納結構的氣壓傳感器在審
| 申請號： | 202010370714.7 | 申請日： | 2020-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN111521319A | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 中山科立特光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01L7/02 | 分類號： | G01L7/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 528458 廣東省中山市火炬開發區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 手性 結構 氣壓 傳感器 | ||
1.一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：包括殼體(5)，所述殼體(5)內的中部設置有襯底(8)，所述襯底(8)的上方設置有第二金屬層(2)，所述第二金屬層(2)的上方設置有彈性層(7)，所述彈性層(7)的上方設置有第一金屬層(1)，所述金屬層1的上方形成惰性氣體腔(6)，所述殼體(5)的上表面內部設置有感壓膜(3)和線性激光器(4)，所述襯底(8)的下方形成真空腔(10)，所述殼體(5)的下表面內部設置有CCD(9)。
2.如權利要求1所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述第一金屬層(1)是由多個周期排列的第一金屬微納結構單元(11)組成。
3.如權利要求2所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述第一金屬微納結構單元(11)包括第一金屬棒(1-1)、第二金屬棒(1-2)、第三金屬棒(1-3)，所述第一金屬棒(1-1)的一端與第二金屬棒(1-2)的一端垂直連接，第二金屬棒(1-2)的另一端與第三金屬棒(1-3)的一端垂直連接，并且第一金屬棒(1-1)、第三金屬棒(1-3)位于第二金屬棒(1-2)同側。
4.如權利要求1所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述第二金屬層(2)是由多個周期排列的第二金屬微納結構單元(12)組成。
5.如權利要求4所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述第二金屬微納結構單元(12)包括第第四金屬棒(2-1)、第五金屬棒(2-2)、第六金屬棒(2-3)，所述第四金屬棒(2-1)的一端與第五金屬棒(2-2)的一端垂直連接，第五金屬棒(2-2)的另一端與第六金屬棒(2-3)的一端垂直連接，并且第四金屬棒(2-1)、第六金屬棒(2-3)位于第五金屬棒(2-2)同側。
6.如權利要求1所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述彈性層(7)的厚度為30nm～40nm。
7.如權利要求1所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述彈性層(7)是由彈性塑料制成。
8.如權利要求1所述的一種基于手性微納結構的氣壓傳感器，其特征在于：所述第一金屬層(1)、第二金屬層(1)均是由金或銀制成。
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