[發(fā)明專利]一種全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010370518.X | 申請(qǐng)日: | 2020-05-06 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN111524840B | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-04-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吳秋明;許剛;鐘志芳 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 合肥新匯成微電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/673 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102 | 代理人: | 王峰 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 全自動(dòng) 貼膠機(jī) 用工 裝置 | ||
本發(fā)明提供一種全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置。所述全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置,工作臺(tái);活動(dòng)槽,所述活動(dòng)槽開(kāi)設(shè)于所述工作臺(tái)的頂部。通過(guò)設(shè)置工作盤結(jié)構(gòu),將兩種不同尺寸的工作盤組合在一起使用,可同時(shí)用于生產(chǎn)兩種不同尺寸的晶圓,通過(guò)設(shè)置升降結(jié)構(gòu)作用于工作盤結(jié)構(gòu),使得工作盤結(jié)構(gòu)向工作臺(tái)的頂部延伸出去,用于生產(chǎn)晶圓,通過(guò)設(shè)置調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),可改變升降結(jié)構(gòu)的升降方式,通過(guò)工作盤結(jié)構(gòu)、升降結(jié)構(gòu)以及調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)配合設(shè)置,實(shí)現(xiàn)內(nèi)工作盤單獨(dú)延伸和內(nèi)外工作盤用延伸兩種模式之間的轉(zhuǎn)換,改變了傳統(tǒng)單一工作盤的使用模式,進(jìn)而不必頻繁的單獨(dú)更換不同尺寸的工作盤,能夠避免因更換工作盤而造成其出現(xiàn)磨損,對(duì)工作盤起到有效的保護(hù)作用。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及全自動(dòng)貼膠機(jī)領(lǐng)域,尤其涉及一種全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置。
背景技術(shù)
全自動(dòng)貼膠機(jī)是PCB、FPC板鉆孔前將疊放好的板子進(jìn)行自動(dòng)貼膠固定,從而提高板子鉆孔精度和提升加工生產(chǎn)效率,完全擺脫古老的用膠紙直接將板子粘貼在機(jī)臺(tái)上加工所產(chǎn)生的品質(zhì)低下和效率低下的生產(chǎn)隱患問(wèn)題,其具有微電腦控制,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,不受加工板大小、厚度和塊數(shù)的多少限制等優(yōu)點(diǎn)。
全自動(dòng)貼標(biāo)機(jī)在生產(chǎn)晶圓時(shí),需要配合專門的工作盤一起使用,現(xiàn)有技術(shù)中,Nitto DR3000III全自動(dòng)貼膠機(jī)可同時(shí)生產(chǎn)8寸晶圓或是12寸晶圓,由于兩種工作盤都是獨(dú)立使用的,使得在更換生產(chǎn)另一種尺寸的晶圓時(shí),需要更換對(duì)應(yīng)的工作盤,在實(shí)際操作時(shí)十分麻煩,不夠方便且比較浪費(fèi)時(shí)間,同時(shí)頻繁的更換工作盤還容易導(dǎo)致工作盤磨損。
因此,有必要提供一種全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置解決上述技術(shù)問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置,解決了現(xiàn)有的全自動(dòng)貼標(biāo)機(jī)在更換生產(chǎn)另一種尺寸的晶圓時(shí),需要更換對(duì)應(yīng)的工作盤,在實(shí)際操作時(shí)十分麻煩,不夠方便的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供的全自動(dòng)貼膠機(jī)用工作盤裝置,包括:
工作臺(tái);
活動(dòng)槽,所述活動(dòng)槽開(kāi)設(shè)于所述工作臺(tái)的頂部,所述活動(dòng)槽的內(nèi)部設(shè)置有工作盤結(jié)構(gòu),所述工作盤結(jié)構(gòu)包括外工作盤,所述外工作盤的頂部開(kāi)設(shè)有移動(dòng)槽,所述移動(dòng)槽的內(nèi)部活動(dòng)連接有內(nèi)工作盤,所述內(nèi)工作盤的底部開(kāi)設(shè)有卡接槽,所述外工作盤底部的左右兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有安裝孔;
升降結(jié)構(gòu),所述升降結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述工作臺(tái)的內(nèi)部,所述升降結(jié)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和螺紋轉(zhuǎn)軸,所述螺紋轉(zhuǎn)軸的外表面螺紋連接有升降套筒,所述升降套筒的頂端固定連接有安裝座,所述安裝座的頂部與所述卡接槽的內(nèi)部卡接,所述螺紋轉(zhuǎn)軸的底端固定連接有從動(dòng)錐齒輪,所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸的一端固定連接有主動(dòng)錐齒輪,所述主動(dòng)錐齒輪的外表面與所述從動(dòng)錐齒輪的外表面嚙合,所述升降套筒外表面的中部開(kāi)設(shè)有漸變滑槽;
調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述活動(dòng)槽的內(nèi)部,所述調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)件、兩個(gè)滑桿和第一齒輪,所述活動(dòng)槽內(nèi)表面的左右兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有滑槽,所述活動(dòng)槽內(nèi)表面的底部連通有凹槽。
通過(guò)設(shè)置工作盤結(jié)構(gòu),將兩種不同尺寸的工作盤組合在一起使用,在使用時(shí),其內(nèi)工作盤可用于產(chǎn)生八寸的晶圓,而外工作盤可用于生產(chǎn)十二寸晶圓,可同時(shí)用于生產(chǎn)兩種不同尺寸的晶圓,通過(guò)設(shè)置升降結(jié)構(gòu)作用于工作盤結(jié)構(gòu),使得工作盤結(jié)構(gòu)向工作臺(tái)的頂部延伸出去,從而用于生產(chǎn)晶圓,通過(guò)設(shè)置調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),可改變升降結(jié)構(gòu)的升降方式,通過(guò)工作盤結(jié)構(gòu)、升降結(jié)構(gòu)以及調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)配合設(shè)置,實(shí)現(xiàn)內(nèi)工作盤單獨(dú)延伸和內(nèi)外工作盤用延伸兩種模式之間的轉(zhuǎn)換,改變了傳統(tǒng)單一工作盤的使用模式,進(jìn)而不必頻繁的單獨(dú)更換不同尺寸的工作盤,在實(shí)際操作時(shí)簡(jiǎn)單、方便,大大提高了工作盤使用效率,能夠避免因更換工作盤而造成其出現(xiàn)磨損,對(duì)工作盤起到有效的保護(hù)作用,延長(zhǎng)其使用壽命。
優(yōu)選的,所述滑桿的外表面套接有支撐板,所述支撐板的頂部固定連接有支撐桿,所述支撐桿的頂端與所述安裝孔的內(nèi)部卡接。
優(yōu)選的,所述轉(zhuǎn)動(dòng)件套接于所述升降套筒的外表面,所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的外表面套接有第二齒輪,所述第二齒輪外表面與所述第一齒輪的外表面相互嚙合。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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