[發(fā)明專利]一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010370364.4
• 申請日: 2020-05-06
• 公開（公告）號: CN111446844B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設計）人: 黃篤蓮
• 申請（專利權）人: 深圳市美澤電源技術有限公司
• 主分類號: H02M1/00
• 分類號: H02M1/00;H05H1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于，包括：三相電源輸入裝置、變壓箱、反應箱以及氣體控制箱，所述三相電源輸入裝置連接所述變壓箱，所述變壓箱連接所述反應箱，所述反應箱連接所述氣體控制箱；

所述反應箱包括高溫加熱裝置、若干等離子反應柜以及第一通道口，所述高溫加熱裝置設置于所述反應箱的任意一個內(nèi)側壁，所述第一通道口設置于所述反應箱的相對的側壁上，所述等離子反應柜呈閉合環(huán)狀管道結構，所述等離子反應柜豎直設置，

所述等離子反應柜包括換氣口、繼電器、若干加熱組、半導體工作塊以及極化電源，所述繼電器設置于所述等離子反應柜的底部，所述繼電器連接所述變壓箱，所述加熱組連接所述高溫加熱裝置，所述半導體工作塊設置于所述等離子反應柜的內(nèi)側壁上，所述極化電源連接所述半導體工作塊，所述極化電源設置于所述等離子反應柜的外側壁，所述換氣口設置有背壓檢測器，所述背壓檢測器檢測所述等離子反應柜中的壓力，

所述等離子反應柜豎直平均劃分為第一區(qū)域以及第二區(qū)域，所述第一區(qū)域的極化電源與所述第二區(qū)域的極化電源的正負電極朝向相反；

所述氣體控制箱包括工作氣體箱以及保護氣體箱，所述工作氣體箱通過主第一氣體通道連接所述換氣口，所述保護氣體箱通過第二氣體通道連接至所述主第一氣體通道，所述主第一氣體通道連接所述換氣口的部分設置有氣體預加熱裝置，所述氣體預加熱裝置加熱主第一氣體通道中的部分工作氣體，所述第二氣體通道與所述主第一氣體通道的連接處設置有氣壓閥，所述氣壓閥控制所述第二氣體通道向所述主第一氣體通道補充氣體。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：所述等離子反應柜還包括載流體組以及大型線圈組，所述載流體組設置于所述等離子反應柜的內(nèi)側壁，每個所述載流體組中包含兩個載流體，所述載流體沿水平方向橫向設置；

所述大型線圈組繞于所述等離子反應柜內(nèi)側壁，所述大型線圈組連接所述極化電源，所述大型線圈組與所述半導體工作塊間隔設置，每個所述極化電源分別對應一個大型線圈組與一個半導體工作塊。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：所述載流體組設置于所述半導體工作塊兩端，所述載流體組均勻分布于所述等離子反應柜的內(nèi)側，所述大型線圈組外包覆絕緣材料。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：基于所述半導體工作塊的極化分布的區(qū)別，所述第一區(qū)域?qū)臉O化電源的電流輸入方向與所述第二區(qū)域?qū)臉O化電源的電流輸入方向相反。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：所述工作氣體箱分為若干子工作氣體箱，所述子工作氣體箱分別儲存不同的工作氣體，所述子工作氣體箱分別通過子第一氣體通道連接至所述主第一氣體通道。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：每個所述子第一氣體通道設置有比例閥，所述子第一氣體通道通過所述比例閥連接所述主第一氣體通道。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：還包括負載檢測器以及控制器，所述負載檢測器檢測接入等離子電源的工作負載總量；

所述控制器連接所述比例閥以及所述負載檢測器，所述控制器通過所述負載檢測器檢測的工作負載總量控制所述比例閥調(diào)整對應的所述子工作氣體箱輸出的工作氣體。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種交流大功率MW級恒溫調(diào)壓自動化控制等離子電源，其特征在于：所述工作氣體根據(jù)高溫狀態(tài)下的比熱容進行分類并歸入不同的所述子工作氣體箱中，所述工作氣體分別對應不同的離解量。