[發明專利]具有靜電放電減輕套筒的過濾器

在審

• 申請號: 202010366005.1
• 申請日: 2020-04-30
• 公開（公告）號: CN111871055A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 鈴木靖二
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B01D35/30
• 分類號: B01D35/30;B01D35/31
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 顧晨昕

本公開報告用于ESD減輕的具有導電聚合物套筒的流體過濾器的實施例。此過濾器的實施例可包括導電套筒和綁帶，以減輕靜電放電。

技術領域

本公開的實施例大體上涉及流體過濾器，且更確切地說，涉及具有靜電放電減輕套筒的流體過濾器。

背景技術

高純度流體處理系統在先進技術應用中具有許多用途。這些應用包括太陽能面板、平板顯示器的處理和制造，以及在半導體行業中用于諸如光刻、批量化學物質遞送、化學機械拋光(chemical mechanical polishing，CMP)、濕式蝕刻和清潔等應用。這些應用中使用的某些化學物質是具侵蝕性的高純度有機溶劑，從而妨礙使用一些常規流體處理技術。

為了滿足此類應用的高純度要求，合適的流體處理系統提供由惰性聚合物制成的過濾器、管道、配件、閥門和其它元件。這些惰性聚合物可包括但不限于含氟聚合物，如四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯和四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯和六氟丙烯聚合物(EFEP)和氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)。這些材料容易發生靜電電荷積聚，這可導致流體處理系統受到破壞。

積聚靜電靜電荷可從流體處理系統內放電到外部環境，潛在地破壞流體處理系統中的組件(例如管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，其可能會導致泄漏、系統中的流體溢出和組件的性能減弱。在這些情形中，當可燃、有毒和/或腐蝕性流體用于受損流體處理系統時，此類放電可能會導致潛在火災或爆炸。

靜電放電(ESD)是用于半導體行業中和其它技術應用中的流體處理系統的重要技術問題。流體與流體系統中的各種操作組件(例如管道或管路、閥門、配件、過濾器等)的表面之間的摩擦接觸可引起靜電荷產生和積聚。電荷產生的程度取決于各種因素，包括但不限于組件和流體的性質、流體速度、流體粘度、流體的導電性、到地面的路徑、液體中的湍流和剪切、流體中的空氣的存在和表面積。一般來說，需要找到用于耗散流體處理系統以及存在于流體處理系統中的過濾器中的靜電電荷的解決方案。

發明內容

本公開的一或多個實施例涉及具有靜電減輕套筒的流體過濾器。

在某些實施例中，靜電減輕過濾器包含過濾器元件、過濾器殼體、一或多個端蓋、導電聚合物套筒和導電聚合物綁帶。

在一些實施例中，過濾器具有一個端蓋；在其它實施例中，過濾器具有兩個端蓋。

合適的導電聚合物套筒可包含導電含氟聚合物，例如但不限于選自由以下組成的組的導電聚合物：四氟乙烯聚合物(PTFE)、全氟烷氧基烷烴聚合物(PFA)、乙烯和四氟乙烯聚合物(ETFE)、乙烯、四氟乙烯和六氟丙烯聚合物(EFEP)、氟化乙烯丙烯聚合物(FEP)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)和其混合物。在一個實施例中，導電聚合物套筒包含全氟烷氧基烷烴聚合物。在一些實施例中，導電聚合物套筒為擠壓管，在其它實施例中，導電聚合物套筒為圓柱形片，在另外其它實施例中，導電聚合物套筒為扁平片或軋磨片。此外，所公開的導電聚合物套筒可以是可重復使用的。

在一些實施例中，過濾器具有將導電聚合物套筒固持到過濾器殼體且用于連接到地面的第一導電聚合物綁帶和還用于將導電聚合物套筒固持到過濾器殼體的第二導電聚合物綁帶。適合的導電綁帶包含導電含氟聚合物或導電聚烯烴。在一個實施例中，導電綁帶包含導電聚丙烯。