[發明專利]一種MEMS開關結構

在審

• 申請號: 202010353722.0
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN111508781A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 卞經緯
• 申請（專利權）人: 無錫市伍豪機械設備有限公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00;H01H9/30
• 代理公司: 無錫睿升知識產權代理事務所(普通合伙) 32376
• 代理人: 姬穎敏

1.一種MEMS開關，其特征在于，包括MEMS開關組件和上蓋，其中所述MEMS開關組件包括基底，位于所述基底上的多晶硅層，位于所述多晶硅層上的電介質層，埋設在所述電介質層內的第一導體和第二導體，與所述第二導體連接的固定觸點，位于電介質層上的控制電極和懸臂梁，設置在所述懸臂梁前端并且與所述固定觸點相對的可動觸點；所述上蓋設置在所述MEMS開關組件外圍，用于密封所述MEMS開關組件，其包括位于最底層的臨接層，位于所述臨接層上的鍵合層及位于所述鍵合層上的圓片封冒，所述圓片封冒具有凹槽，所述MEMS開關組件位于凹槽內部，密封的圓片封冒內部充有滅弧氣體。

2.根據權利要求1所述的MEMS開關，其特征在于，所述基底材料為硅，所述電介質層材料為二氧化硅。

3.根據權利要求2所述的MEMS開關，其特征在于，所述懸臂梁相對于所述固定觸點的另一端具有固定端，所述固定端通過第一導通孔與所述第一導體連接，所述固定觸點通過第二導通孔與所述第二導體連接。

4.根據權利要求3所述的MEMS開關，其特征在于，所述固定端還包括一個固定腳，固定腳上設置有一個支撐部，所述支撐部支撐所述懸臂梁。

5.根據權利要求4所述的MEMS開關，其特征在于，所述上蓋和所述MEMS開關組件的電介質層對準鍵合。

6.根據權利要求5所述的MEMS開關，其特征在于，所述固定觸點和所述可動觸點材料為金，所述圓片封冒的材料為硅。

7.根據權利要求6所述的MEMS開關，其特征在于，所述臨接層采用氮化硅。

8.根據權利要求7所述的MEMS開關，其特征在于，所述滅弧氣體采用六氟化硫或六氟乙烷。