[發明專利]一種提高太陽能電池片中氧化鋁薄膜質量的方法

在審

• 申請號: 202010349899.3
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN111501026A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 居建華
• 申請（專利權）人: 無錫思銳電子設備科技有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/40;C23C16/455;H01L31/04;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 仇波

本發明涉及一種提高太陽能電池片中氧化鋁薄膜質量的方法，它包括：對鍍膜腔室內部進行加熱并抽真空；使所述鍍膜腔室內部通過微波激發形成離子體；向所述鍍膜腔室內通入反應物，以在輸入的硅片表面形成氧化鋁薄膜；通過等間隔設置的多組U型罩以及與所述U型罩一一配合的多組氣路管組向所述鍍膜腔室內通入反應物。這樣能夠提高反應氣體在U型罩內外側分布的均勻程度，從而提高電池片中氧化鋁薄膜的質量。

技術領域

本發明涉及一種鍍膜方法，具體涉及一種鍍膜方法，特別是一種提高太陽能電池片中氧化鋁薄膜質量的方法。

背景技術

氧化鋁薄膜是太陽能電池的表面鈍化材料，其含有高密度的固定負電荷，因此在太陽能電池P型層的鈍化方面表現優異。

目前，常規的氧化鋁薄膜鍍膜方法分為兩類：原子層沉積和等離子增強化學氣相沉積。原子層沉積方法獲得的氧化鋁薄膜質量高，但鍍膜速率慢，不易量產化。等離子增強化學氣相沉積是將反應物（三甲基鋁蒸氣（TMA）和一氧化二氮（N₂O）氣體），通過等離子激發反應生成氧化鋁；然而等離子增強化學氣相沉積獲得的氧化鋁薄膜質量適中，但是其鍍膜速率快，容易實現工業化量產。

在等離子增強化學氣相沉積中，現有的三甲基鋁和一氧化二氮通氣方式，容易在體系中因為外側沒有足夠的反應氣體而形成質量比較差的膜，從而影響膜層質量，進而影響電池片的效率，最終影響太陽能電池質量的穩定性。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種提高太陽能電池片中氧化鋁薄膜質量的方法，能夠有效提高太陽能電池片中表面鈍化材料（氧化鋁薄膜）的質量。

針對上述問題，本發明提供一種提高太陽能電池片中氧化鋁薄膜質量的方法，它包括：

對鍍膜腔室內部進行加熱并抽真空；

使所述鍍膜腔室內部通過微波激發形成離子體；

向所述鍍膜腔室內通入反應物，以在輸入的硅片表面形成氧化鋁薄膜；

通過等間隔設置的多組U型罩以及與所述U型罩一一配合的多組氣路管組向所述鍍膜腔室內通入反應物；

每組所述U型罩包括間隔且對應設置的兩塊側壁、連接兩塊所述側壁對應邊部的連接板以及形成在所述側壁任一邊部且朝外傾斜延伸的延展板，所述連接板上開設有間隔設置且排列成一排的多個第一反應物通入孔，每塊所述延展板上開設有與所述第一反應物通入孔相對應且排列成一排的多個第二反應物通入孔；

每組所述氣路管組包括與所述第一反應物通入孔相連的第一反應物氣路管以及與所述第二反應物通入孔相連的第二反應物氣路管；

多組所述U型罩之間相鄰兩塊延展板的兩排所述第二反應物通入孔中，至少有一排所述第二反應物通入孔配合所述第二反應物氣路管通入所述第二反應物。

優化地，所述第一反應物為N2O，

優化地，所述第二反應物為三甲基鋁。

進一步地，多組U型罩之間相鄰兩塊延展板的兩排所述第二反應物通入孔中，兩排所述第二反應物通入孔均配合所述第二反應物氣路管通入所述第二反應物。

進一步地，其特征在于：多組U型罩之間相鄰兩塊延展板的兩排所述第二反應物通入孔中，位于中間所述U型罩上的一排所述第二反應物通入孔配合所述第二反應物氣路管通入所述第二反應物。

優化地，所述側壁與所述連接板平滑過渡連接，所述側壁與所述延展板平滑過渡連接。

進一步地，所述側壁與所述連接板相垂直，所述側壁與所述延展板之間的夾角為100~150°。

優化地，所述延展板的外側邊還向外彎折形成固定連接部，相對應的所述固定連接部和所述側壁位于所述延展板的同側。