[發明專利]一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用系統

有效

• 申請號: 202010345401.6
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111302617B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 黃宏琪
• 申請（專利權）人: 黃宏琪
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014;C03B37/018;B01D5/00;B01D50/20;B01D53/00;B01D53/26
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1.一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述裝置包括泵端輸氣裝置、粉塵余熱收集裝置、過濾網、脫水除塵裝置、第一氣體過濾器、真空發生器、氣體緩存罐、氣體分離裝置、Cl₂存儲罐、O₂/He存儲罐、第一過濾調壓裝置、第二過濾調壓裝置，儲氣罐、檢測器、流量計、第二氣體過濾器及相應的管道，其中所述泵端輸氣裝置包括依次連接的氣柜供氣裝置、氣相沉積設備的氣端夾頭及密封裝置、襯管、氣相沉積設備的泵端夾頭及密封裝置，所述泵端輸氣裝置的出口連接所述粉塵余熱收集裝置，所述粉塵余熱收集裝置、過濾網、脫水除塵裝置、第一氣體過濾器、真空發生器、氣體緩存罐、氣體分離裝置依次連接，氣體分離裝置的第一輸出口依次連接O₂/He存儲罐、第一過濾調壓裝置、儲氣罐、檢測器、流量計、第二氣體過濾器，氣體分離裝置的第一輸出口連接Cl₂存儲罐、第二過濾調壓裝置后與所述儲氣罐連接；

所述粉塵余熱收集裝置，呈圓柱體狀、結構類似于保溫瓶，內層選用0.5-1mm的高純二氧化硅玻璃，外層為金屬或非金屬材料覆蓋的保溫層，兩者之間為水，通過所述水對尾氣中的熱量吸收，可以使粉塵在收集裝置內的沉積；

所述氣體分離裝置，用于將O₂、He與Cl₂分離，選用不銹鋼316L材質，其分離方法基于Cl₂在高壓600-700kPa或-34℃時極易液化而O₂/He極難液化的特點。

2.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述過濾網依次由規格為10μm、5μm、2μm、0.5μm的過濾網組成。

3.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述脫水除塵裝置對過濾網過來的氣體和剩余的少量水分 進行脫水處理，并進一步用0.05μm的過濾網除去粉塵。

4.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述管道采用高純特氟龍管道，接口選用VCR接頭。

5.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述第一氣體過濾器以及第二氣體過濾器的過濾規格為0.02μm。

6.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述氣體緩沖罐用于存儲經真空泵泵入的O₂、He、Cl₂氣體，所述氣體緩沖罐選用不銹鋼316L材質，其耐壓等級為7MPa。

7.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述Cl₂存儲罐用于存儲分離的Cl₂，罐體選用不銹鋼316L材質，所述O₂/He存儲罐用于存儲分離的O₂/He，罐體選用不銹鋼316L材質。

8.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述第一過濾調壓裝置，是指將O₂/He存儲罐的氣體先經過0.003μm氣體過濾器，再經過調壓閥調至一定壓力輸送至儲氣罐。

9.根據權利要求1所述的一種氣相法制備光纖預制棒的尾氣循環利用裝置，其特征在于，所述檢測器用于探測流過探測器的O₂/He混合氣體中O₂、He的濃度，所述流量計用于計量流向氣相沉積氣端的O₂/He氣體流量。