[發明專利]一種集成電路廠房用智能通風裝置

在審

• 申請號: 202010338840.4
• 申請日: 2020-04-26
• 公開（公告）號: CN111503805A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 宋鑫
• 申請（專利權）人: 宋鑫
• 主分類號: F24F7/007
• 分類號: F24F7/007;F24F3/16;F24F3/14;F24H3/04;F24H9/18
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 曹書華

本發明公開了一種集成電路廠房用智能通風裝置，該智能通風裝置包括防護殼、進風機構、除塵機構、加熱機構、廢氣處理裝置、排風機構，所述防護殼上方從左往右依次設置有排風機構、進風機構，防護殼內部從左往右依次設置有加熱機構、除塵機構，所述廢氣處理裝置設置在防護殼一側，所述進風機構往廠房內送入空氣，所述除塵機構利用螺旋水霧對空氣進行除塵，所述加熱機構通過摩擦生熱對空氣進行烘干、加熱，所述廢氣處理裝置對廠房排出的廢氣進行凈化處理，所述排風機構對廠房內的濕熱空氣進行排放，本發明科學合理，使用安全方便，除塵機構利用螺旋水霧對空氣除塵的方式，相對于傳統的利用濾網進行除塵的方式，此方式更加方便，而且不用清洗過濾網。

技術領域

本發明涉及廠房通風技術領域，具體是一種集成電路廠房用智能通風裝置。

背景技術

IC制造和IC封裝已成為微電子產業中相互獨立又互相關聯的產業。微電子已成為當今世界各項尖端技術和新興產業發展的前導和基礎。有了微電子技術的超前發展，便能夠更有效地推動其它前沿技術的進步。

目前，不僅集成電路廠房的生產車間通常是密閉的，而且工作環境為無塵環境，溫度要在一定溫度范圍內，并且在集成電路的生產過程中會產生一些有毒、有害的化學氣體，若不及時排出并對化學氣體進行凈化，這些氣體不僅會影響工人的健康，而且直接排放還會對大氣環境造成危害。

廠房的無塵環境大多通過濾網均對空氣進行過濾，此方式不僅需要對濾網進行清理，而且在清理過程還會浪費大量的水資源，并且廠房在達到相對的恒溫要求時，大多也是采用空氣加熱器對空氣進行加熱的方式，空氣加熱器雖然可以對空氣進行加熱，但是，空氣加熱器加熱時不僅需要一定的能耗，而且還增加的生產成本有所提高。

所以，人們需要一種集成電路廠房用智能通風裝置來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種集成電路廠房用智能通風裝置，以解決現有技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種集成電路廠房用智能通風裝置，該智能通風裝置包括防護殼、進風機構、除塵機構、加熱機構、廢氣處理裝置、排風機構，其特征在于：所述防護殼上方從左往右依次設置有排風機構、進風機構，防護殼內部從左往右依次設置有加熱機構、除塵機構，所述廢氣處理裝置設置在防護殼一側，所述進風機構往廠房內送入空氣，所述除塵機構利用螺旋水霧對空氣進行除塵，所述加熱機構通過摩擦生熱對空氣進行烘干、加熱，所述廢氣處理裝置對廠房排出的廢氣進行凈化處理，所述排風機構對廠房內的濕熱空氣進行排放。進風機構向廠房內輸送空氣，除塵機構使進風機構輸送的空氣進行螺旋混合并向螺旋的氣流中加入水，使空氣中的灰塵、雜質與水混合并在螺旋氣流中不斷與其他雜質混合，通過質量的增加使雜質脫離空氣，使空氣達到無塵的要求，除塵機構利用螺旋水霧對空氣除塵的方式，相對于傳統的利用濾網進行除塵的方式，此方式更加方便，而且不用清洗過濾網，加熱機構通過除塵機構獲得摩擦生熱的動力，并通過摩擦生熱對帶有水分的無塵空氣進行烘干及加熱，使通過廠房中的空氣達到一定的溫度要求，加熱機構利用磁熱效應產生熱量并對空氣進行烘干及加熱，相對于利用空氣加熱器對空氣加熱的方式，本裝置中的加熱方式不僅簡單，而且還低能耗、低成本，排風機構通過廢氣處理裝置對廠房中的濕熱空氣進行抽取，通過進風機構與排風機構的相互配合使廠房內達到空氣循環的效果，廢氣處理裝置對廠房內集成電路生產使生成的化學廢氣進行凈化處理，使排風機構排出的氣體到達排風要求。